Gebraucht KLA / TENCOR SP1 #9097785 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9097785
Wafergröße: 12"
Dual FOUP handlers, 12"
Dual loadports
Puck style handling.
KLA/TENCOR SP1 Maske und Wafer Inspection Equipment ist ein hochpräzises und zuverlässiges automatisiertes Inspektionssystem für Masken- und Waferanwendungen. Es wird in der gesamten Halbleiterindustrie verwendet, um die Qualität und Genauigkeit der optischen, Retikel- und Wafereigenschaften sicherzustellen. KLA SP1 nutzt fortschrittliche laseroptische Sensortechnologien, um kritische Dimensionen, Kanten, Fiduziale und andere Funktionen zu erkennen und zu identifizieren. Um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, enthält es auch spezielle Fehlererkennungsalgorithmen, um Anomalien in den angeforderten Funktionen zu erkennen. Darüber hinaus hat es die Fähigkeit, Musteranomalien, Überbrückung, Dotierungsmittelkontamination, Linienbreitenvarianzen und mehrere andere Parameter zu erkennen. TENCOR SP 1 bietet Anwendern hohe Auflösung und genaue Ergebnisse, mit Vergleichsmöglichkeiten bis zu 1/25.000 Millimeter. Die Genauigkeit der Einheit beträgt bis zu 3 µm (0,003mm). Um diese Genauigkeit zu gewährleisten, enthält es mehrere Inspektionskomponenten wie Auto Focus, Digital Zoom und Global Illumination; zusätzliche Funktionen wie der Sensitivitätsentzerrer ermöglichen es Benutzern, die richtigen Schwellenwerte und Empfindlichkeit für optimale Inspektionen festzulegen. Mit einer erfahrenen und benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche macht es die Bedienung einfach für Benutzer, die mehrere Wafer- oder Maskenbilder nebeneinander vergleichen können, um eine einfache visuelle Bestätigung zu erhalten. Darüber hinaus wertet ein integrierter statistischer Analysator die Ergebnisse jeder Inspektion aus und gibt Anwendern mehr Vertrauen in ihre Ergebnisse. Darüber hinaus verfügt KLA SP 1 über Berichtsgenerierungs- und Exportfunktionen sowie Vernetzungs- und Netzwerkoptionen für Maschinen und Werkzeuge, sodass die Integration in eine Produktionsumgebung einfach ist. Es ist auch so konzipiert, dass es den globalen Sicherheitsanforderungen, der Datensicherheit und den ESD-Standards entspricht und den Benutzern Sicherheit bietet. Insgesamt ist SP 1 Mask and Wafer Inspection Asset ein fortschrittliches und zuverlässiges Inspektionswerkzeug für die Halbleiterindustrie, das eine hohe Genauigkeit und Präzisionsprüfung bietet, um die Qualität und Genauigkeit von nicht nur Wafern und Masken, sondern auch anderen kritischen Komponenten sicherzustellen.
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