Gebraucht KLA / TENCOR SP1 #9202637 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die ein breites Spektrum an Inspektionsmöglichkeiten zur Verbesserung der Qualität von Halbleiterherstellungsprozessen bietet. Dieses System umfasst fortschrittliche Technologien für hochauflösende Bildgebung, hohe Durchsatzleistung, Gesamtmusterprüfung, automatisierte Fehlerüberprüfung und Datenanalyse. KLA SP1 bietet eine Fehlerüberprüfung auf Waferebene für eine schnelle Fehlerlokalisierung und eine breite Palette von bildgebenden Techniken, die sowohl den Kunden- als auch den Industriestandards entsprechen. TENCOR SP 1 verwendet hochauflösende Bildgebungstechniken (HRI), um überlegene Fehlerinspektionsmöglichkeiten bereitzustellen. Die HRI-Technologie basiert auf dem Prinzip, dass Atome Lichtwellen je nach chemischer Struktur unterschiedlich absorbieren. Durch die Kombination zweier Lichtstrahlen zu einem hochvergrößerten Bild kann TENCOR SP1 den einzigartigen Kontrast zwischen Atombindungen erkennen. Dies ermöglicht es, das Vorhandensein von winzigen Defekten, wie Partikelschutt oder Varianzen in der Schichtdicke zu erkennen. SP1 verfügt auch über spezialisierte Algorithmen zur Mustererkennung und spezialisierte Software zur schnellen Erkennung, Klassifizierung und Analyse von Fehlern. Diese Algorithmen filtern Objekte in einer Ebene nach ihrer Form, Größe oder Position. Mängel können mit höchster Genauigkeit identifiziert und klassifiziert werden. Die Software kann auch zusammenfassende Datenberichte erzeugen, mit denen Trends in einem bestimmten Prozess oder einer Schicht eines Halbleiters erkannt werden können. KLA SP 1 bietet auch TPI-Fähigkeiten (Total Pattern Inspection). TPI ist eine Technik, mit der das Gerät ein ganzes Muster scannen und alle möglichen Fehler erkennen kann. Mit einem integrierten Mikroskop kann die Maschine einen Vollfeldscan durchführen und das gesamte Muster mit sofortiger Rückmeldung abbilden. Dies hilft, nicht gemeldete Fehler zu vermeiden und reduziert die Komplexität von Diagnose- und Reparaturaufgaben. Schließlich ist SP 1 für hohe Durchsatzleistung ausgelegt. Es verarbeitet große Datenmengen mit einer Rate von 250 Wafern pro Stunde. Diese ultrahohe Geschwindigkeit ermöglicht es, Fehler in mehreren Schichten schnell gleichzeitig zu erkennen und zu analysieren. Abschließend ist KLA/TENCOR SP 1 ein fortschrittliches Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug, das hervorragende Leistung und unübertroffene Fehlererkennungsfunktionen bietet. Es bietet hochauflösende Bildgebung, Algorithmen zur Mustererkennung und Gesamtmusterinspektionsmöglichkeiten, um eine präzise Fehlererkennung sicherzustellen. Darüber hinaus bietet das Asset eine hohe Durchsatzleistung, um mit den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie Schritt zu halten.