Gebraucht KLA / TENCOR SP2 XP #9199327 zu verkaufen

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ID: 9199327
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
Particle counter, 12" (3) Loadports (TDK) KAWASAKI Robot 2014 vintage.
KLA/TENCOR SP2 XP ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage der UCK. Dieses System ist speziell für die Inspektion von in der Halbleiterherstellung verwendeten Masken und Wafern konzipiert. KLA SP2 XP bietet überlegene Wafer-Fehlerinspektion bei hoher Auflösung und hohem Durchsatz. TENCOR SP2-XP verfügt über eine leistungsstarke 2 Megapixel digitale Bildverarbeitungseinheit, die Fehler bis zu 6 µm genau beurteilen kann. Die Inspektionsmaschine ist in der Lage, verschiedene Bildtypen zu erzeugen, einschließlich von oben nach unten, geneigt, Querschnitt und reflektierende Bilder. Zusätzlich ist SP2 XP mit einem Hochenergielaser mit einer Wellenlänge von 355nm oder 1064 nm für den Waferinspektionsprozess integriert. Die KLA- SP2-XP ist in der Lage, sehr kleine Fehlersignale zu erkennen, einschließlich solcher, die durch das Vorhandensein von Partikeln oder anderen Partikeln verursacht werden. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, durch den Einsatz der fortschrittlichen Lasertechnologie ungewöhnliche Variationen in Waferstruktur, Oberfläche oder Konturen zu identifizieren. TENCOR SP2 XP kann auch beschädigte oder fehlende Funktionen wie kleine oder fehlende Gräben, Grate oder Löcher erkennen. Neben seinen erweiterten Bildgebungs- und Erkennungsfunktionen ist SP2-XP auch mit mehreren Produktivitäts- und Leistungsmerkmalen ausgestattet. Die schnelle Geschwindigkeit des Asset ermöglicht es, schnell automatische visuelle Inspektionen durchzuführen, um eine Vielzahl von Defekten in einem Bruchteil der Zeit im Vergleich zu anderen Inspektionssystemen zu identifizieren. Darüber hinaus sorgt der hohe Durchsatz von KLA/TENCOR SP2-XP dafür, dass der Inspektionsprozess reibungslos und ohne Verzögerungen durchgeführt wird. Schließlich enthält KLA/TENCOR SP2 XP auch eine Reihe von Software- und Hardwareoptionen, um dem Benutzer eine große Flexibilität bei der Anpassung des Modells an seine spezifischen Bedürfnisse und Anforderungen zu bieten. Mit diesen Funktionen ist KLA SP2 XP in der Lage, die Produktqualität zu verbessern und sicherzustellen, dass die Maske oder der Wafer den strengsten Industriestandards entspricht.
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