Gebraucht KLA / TENCOR SP2 XP #9250197 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP2 XP ist eine automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage, die es Herstellern ermöglicht, Fehler an Produktionsscheiben und Photomasken zu erkennen und zu charakterisieren. Das System ist mit vier Fehlerinspektionsmodi ausgestattet, einschließlich CDI (Critical Defect Inspection), Wafer Scanning (WS), Defect Review (DR) und Complex Defect Review (CDR). Der CDI-Modus (Critical Defect Inspection) wurde entwickelt, um kritische Lithographiefehler an Photomasken und Produktionsscheiben schnell und genau zu identifizieren, die durch manuelle Inspektion verpasst werden könnten. Es verwendet fortschrittliche Sensoren und Algorithmen, um Fehler bis zu einer minimalen Funktionsgröße von bis zu 1 Mikron zu erkennen und zu klassifizieren. Der leistungsstarke Inspektionsmotor kann bis zu 500 Wafer in einem einzigen Auftrag scannen und sorgt für hohen Durchsatz und Genauigkeit. Der Wafer Scanning (WS) -Modus bietet einen effizienten und kostengünstigen Ansatz für eine vollständige nachträgliche Inspektion von Produktionswafern. Es verwendet fortschrittliche Technologie und leistungsstarke Algorithmen für genaue und zuverlässige Messungen und Klassifizierung von Fehlern. Das Gerät kann unter Berücksichtigung einer Vielzahl von Geometrien bis zu 500 Wafer pro Charge analysieren. Der Defect Review (DR) -Modus kann verwendet werden, um einen einzelnen verdächtigen Formort zu untersuchen. Es nutzt mehrere Bildvergrößerungsstufen bis zu 1000X, um die manuelle Analyse der Defekteigenschaften eines einzelnen Werkzeugs zu unterstützen. Die leistungsstarke optische Mikroskop- und Heftmaschine bietet Anwendern ein scharfes und detailliertes Bild ihres Wafers. Der Modus Complex Defect Review (CDR) wurde entwickelt, um komplexe Fehler oder „Stapeleffekte“ detailliert zu analysieren. Es nutzt erweiterte Bildnahtfunktionen, um eine Quadrantenansicht des Fehlers oder KEs zu simulieren. Auf diese Weise können Benutzer die Größe, Form und den Typ eines Fehlers oder einer Funktion schnell und genau identifizieren. Insgesamt ist KLA SP2 XP ein fortschrittliches Inspektionstool, das Hersteller bei der Erkennung und Charakterisierung von Photomasken- und Produktionswaferdefekten bis auf die kritischsten Ebenen unterstützt. Es bietet effizienten Workflow-Support, mehrere Inspektionsmodi und leistungsfähige Automatisierungstechnologie, um einen hohen Durchsatz und Genauigkeit zu gewährleisten. Der Vermögenswert ist ein unschätzbares Werkzeug bei der Fertigungsprozesskontrolle und Fehlerreduzierung.