Gebraucht KLA / TENCOR SP2 #293628420 zu verkaufen

ID: 293628420
Weinlese: 2005
Inspection system 2005 vintage.
KLA/TENCOR SP2 ist eine Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung für erhöhte Genauigkeit und Präzision gebaut. Das System ist mit einer ganzen Reihe von Prüf- und Analysewerkzeugen ausgestattet, die eine Hochgeschwindigkeitskontrolle von Schaltungsmustern auf einer Reihe von Geräteschichten und Substraten ermöglichen. Seine helle, hochauflösende Anzeige ermöglicht klare, scharfe Bildgebung für eine genauere Überprüfung kritischer Defektfunktionen. KLA SP-2 verwendet eine Kombination aus Feld-programmierbaren Gate-Arrays (FPGA), Optik und Software-Tools, um eine automatische Überprüfung verschiedener Geometrien, Muster und Toleranzen über Wafer und Schaltungsmaskenschichten hinweg durchzuführen. Darüber hinaus umfasst die standardmäßige Beleuchtungskonfiguration des Geräts eine automatisierte Oberflächenbeleuchtung, die eine vollständige Palette von Funktionen über die Oberseite, die Seite und die niedrigere Beleuchtung ermöglicht; Dies führt zu einer höheren Genauigkeit für die Merkmalserkennung, insbesondere für höhere Geometrien (Sub-Mikrometer). Die automatisierte Fehlerüberprüfungsmaschine von TENCOR SP 2 verwendet branchenerprobte Bildverarbeitungsalgorithmen, um die Fehlererkennung zu steuern und bietet genaue Daten für die Auswertung mit einer Vielzahl von Algorithmen. Das Tool ist auch mit Algorithmen zur Analyse von Geräuschen, Fehlergröße und Fehlerdichte ausgestattet, die eine höhere Genauigkeit für die Fehleranalyse gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine leistungsstarke Suite von Overlay-Messtechnik-Tools für Wafer-to-Maske und Die-to-Die-Vergleiche für die CD-Steuerung. Die Plattform bietet auch integrierte SPC-Analyse- und Schnittstellentools, die eine einfachere Kalibrierung und Datenintegration ermöglichen. Daten können über erweiterte Schnittstellentools in Programme von Drittanbietern exportiert werden, sodass die Integration in bestehende Softwarepakete einfach ist. KLA SP 2 verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), die einen flexiblen Betrieb ermöglicht, so dass Bediener einen Job schnell einrichten, starten und ausführen können, ohne umfangreiche Programmierkenntnisse zu benötigen. Die GUI ermöglicht auch eine einfache Modellanpassung, um eine Vielzahl von Benutzer- und Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Die Plattform verfügt über eine Vielzahl fortschrittlicher Inspektionsanwendungen, die eine gleichzeitige Bildschirmanzeige verschiedener Schichten, elektrische Tests, elektromagnetische Interferenzscans und andere Tests ermöglichen. Dies führt zu einer schnelleren, effizienteren Fehlerreparatur und einer verbesserten Fehlerinspektion. Insgesamt ist KLA/TENCOR SP-2 eine leistungsstarke und umfassende Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die auf erhöhte Genauigkeit und Präzision ausgelegt ist; bietet eine umfassende Palette von Prüf- und Analysetools, erweiterte Bildverarbeitungs- und Overlay-Messtechniken sowie eine benutzerfreundliche GUI für flexiblen Betrieb und einfache Systemanpassung.
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