Gebraucht KLA / TENCOR SP2 #9023715 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP2 ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Inspektion von Masken und Wafern während integrierter Schaltkreisprozesse. Die bemerkenswerte Genauigkeit und Geschwindigkeit der KLA SP-2 ist ein Ergebnis der fortschrittlichen optischen und Messtechnologien sowie der automatisierten Fehlererkennung. TENCOR SP 2 misst alle wichtigen OPC (optical proximity correction) Parameter, die für die erfolgreiche Inspektion von Masken und Wafern erforderlich sind, einschließlich CD (critical dimension) und MIS (micro-inspection system) Messungen. Es umfasst auch OPC-Modellbau-Fähigkeiten und kann CD-SEM, CD-FTIR (Fourier-Transformation Infrarot), CD-AFM (Atomkraftmikroskopie), AUBO-OCT (optische Kohärenztomographie) und Randprojektionen messen. Die hochmodernen Nanometer-Messtechnologien von KLA SP 2 nutzen eine fünfdimensionale Ausrichteinheit und bieten eine verbesserte Flexibilität und Präzision bei der Einstellung der Positionen und Winkel der Kameraobjektive. SP2 verwendet spezielle Fehlererkennungsalgorithmen und Bildverarbeitungsfilter, um seine Ergebnisse zu erkennen, zu quantifizieren und zu melden. Neben dem Lesen von von KLA und TENCOR erzeugten Bildern kann die große Bildbibliothek auch zum Vergleich von Testbildern mit etablierten Mustern guter Komponenten oder zur Vorbereitung auf Inspektionen oder Herausforderungen verwendet werden. So kann die automatisierte Fehlpegelerkennung schnell geeignete Ebenen identifizieren, die in Wafern fehlen, sodass Benutzer Probleme mit dem Produktionsprozess schnell identifizieren und beheben können. Schließlich enthält SP 2 eine kontinuierliche automatische Ausrichtmaschine, die mit dem Lichtfeldbild des Sensors zusammenarbeitet. Der Benutzer muss nur die entsprechenden Parameter eingeben, damit das Werkzeug schnell automatisch kalibrieren kann, um Chargen von inakzeptablen Produkten zu erkennen. Darüber hinaus sind die automatisierten Fehlererkennungsalgorithmen des Asset zu über 90% zuverlässig, so dass das Modell unabhängig komplexe Fehler und Klassifizierungen erkennen kann. Zusammenfassend ist TENCOR SP-2 eine fortschrittliche automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage, die mit den neuesten optischen und Messtechnologien ausgestattet ist. Seine Fähigkeit, Fehler zu erkennen und schnell zu klassifizieren, OPC-Parameter zu messen und Bilder automatisch auszurichten, machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für integrierte Schaltkreisprozesse.