Gebraucht KLA / TENCOR SP2 #9138110 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9138110
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Surface inspection system,12"
Dual FIM /FOUP
Vacuum puck handling
Wafer measurement module
Optimized sensitivity
Throughput < 37 nm defect sensitivity on polished bare silicon
Enables qualification of current
Next Generation Substrates
SOI, Strained SOI
Strained Si
UV Laser illumination
Defect map
Histogram with zoom
IMicroview measurement capability
Real-time defect classification (RTDC)
Can be upgraded to SP2 XP at additional cost
Microsoft XP operating system
Blower box
2012 vintage.
KLA/TENCOR SP2 ist eine fortschrittliche Masken- und Waferinspektionsanlage, die speziell für die Beurteilung der Masken- und Waferqualität entwickelt wurde. Dieses hochmoderne System nutzt eine Kombination aus proprietärer optischer Bildgebung, Fehlererkennung und fortschrittlicher Analytik, um eine umfassende und genaue Inspektion zu gewährleisten. KLA SP-2 ist in der Lage, eine Reihe automatisierter Aufgaben durchzuführen, wie z. B. die Feinlinienbildbewertung, Fehlererkennung und die Nutzung der großen Anzahl von Sensoren, die in alle Spitzen-Lithographie-Techniken eingebettet sind. Es ist in der Lage, die Dicke von Folienschichten zu analysieren, kritische Abmessungen von Geräteeigenschaften zu identifizieren und andere kritische Metrologiefunktionen durchzuführen. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, die Gleichmäßigkeit der Prozessergebnisse zu überwachen und die Qualität von Teilen mit optisch glatten Oberflächen zu bewerten. TENCOR SP 2 verfügt über erweiterte Mustererkennungsfunktionen und bietet Benutzern eine effektive und effiziente Möglichkeit, anfällige Fehler zu identifizieren. Eine unzureichende Teilequalität ist erkennbar, da die Maschine Verunreinigungen, Mängel und andere Materialunregelmäßigkeiten erkennen kann, die zu einer Reduzierung der hergestellten wartungsfähigen Bauteile führen können. Das KLA/TENCOR SP 2-Tool ist in der Lage, eine vertiefende Datenerfassung bereitzustellen, die ein Echtzeitbild des laufenden Prozesses liefert. Darüber hinaus ist das Asset in der Lage, die Fehlerskalierbarkeitsanalyse zu erleichtern und die Bewertung von Prozesstrends zu ermöglichen, um die Renditesätze zu verbessern. Alle gesammelten Daten werden gespeichert und können problemlos abgerufen werden, um sicherzustellen, dass Benutzer in der Lage sind, datengesteuerte Entscheidungen effektiv und genau zu treffen. SP-2 gilt weithin als innovatives Masken- und Waferinspektionsmodell. Mit proprietärer optischer Bildgebung und fortschrittlicher Fehlererkennung bietet es Anwendern einen genauen und umfassenden Überblick über die Prozessergebnisse. Es ist ein unschätzbares Werkzeug, das verbesserte Produktionseffizienz und Ertragsraten erleichtern kann.
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