Gebraucht KLA / TENCOR SP2 #9199155 zu verkaufen
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ID: 9199155
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Inspection system, 12"
Spare parts missing
2005 vintage.
KLA/TENCOR SP2 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um extrem genaue mikroskalierte Oberflächenmessungen und Fehlererkennungsfunktionen bereitzustellen. Mit fortschrittlicher Scan- und Bildgebungstechnologie ist das System in der Lage, auch kleinste Oberflächenmerkmale und Defekte präzise zu beheben. KLA SP-2 nutzt eine leistungsstarke CCD-Kamera im sichtbaren Bereich von 400-950 Nanometern. Zur Aufnahme der Bilder wird ein hochauflösendes Objektiv verwendet, das dann von leistungsstarken Bildverarbeitungsalgorithmen verarbeitet wird. Diese Algorithmen erkennen ungewohnte Merkmale wie „Fremdpartikel“, Versetzungen, Kratzer und andere Oberflächenfehler. Die Bilder werden dann zur weiteren Analyse gespeichert. Das Gerät legt großen Wert auf Geschwindigkeit und Genauigkeit beim Scannen und Messen von Proben. Es hat eine Abtastgeschwindigkeit von bis zu 5 Millionen Pixel pro Sekunde, was zu einer maximalen Abtastrate von 200 Wafern pro Stunde führt. Eine Vielzahl von mehrachsigen Spannelementen kann zur Unterstützung großer Proben verwendet werden, und eine PCI/SCSI-Schnittstelle ermöglicht die Fernsteuerung und Verarbeitung von Proben. Die Maschine kann auch mit erweiterten Objektiven und zusätzlichen Softwareoptionen für mehr Vielseitigkeit aufgerüstet werden. Mit der Mehrpunkt-Planar-Scanoption kann beispielsweise TENCOR SP 2 große Bereiche schnell auf einmal inspizieren. Darüber hinaus ermöglichen erweiterte Dynamikbereichsfunktionen hochpräzise Messungen und der Einsatz spezieller Software, wie Mehrzonen-Overlay-Fähigkeit, eine hochgenaue Fehlererkennung. KLA/TENCOR SP-2 ist ein fortschrittliches Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug, das eine große Anzahl von Proben schnell und genau verarbeiten kann. Mit seinen hochauflösenden Bildgebungsfunktionen und mehreren Softwareoptionen sorgt SP-2 für eine genaue Fehlererkennung und hochpräzise Messungen. Diese Anlage ist eine ideale Wahl für die Qualitätsprüfung auf höchstem Niveau in der Halbleiterproduktion.
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