Gebraucht KLA / TENCOR SP3 #293648610 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP3 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur Erkennung von Defekten an Halbleiterscheiben und -masken verwendet wird. Das System nutzt Machine-Vision-Technologie und umfasst Inspektionen, Fehlerüberprüfungen, Ertragsverbesserungen und Automatisierungsfunktionen. KLA SP-3 kombiniert Hellfeld- und Dunkelfeldbildgebung mit einem Roboterarm, der den Wafer in verschiedene bildgebende Positionen bewegt. Es wurde entwickelt, um Fehler zu erkennen, die herkömmliche 2D-Maskeninspektionssysteme übersehen können, wie Rauheit und Kratzer der Kanten. TENCOR SP 3 nutzt Helligkeits- und Dunkelfeldbildgebung zur Messung von Kantenrauhigkeiten und Kratzern. Für die Hellfeld-Bildgebung vergrößert die Einheit das Bild des Wafers, um die Erkennung von Mikron-Ebene Linie Kantenrauheit und mehrere anormale Oberflächendefekte zu ermöglichen. Darkfield-Bildverarbeitung hilft, Fremdmaterialien und andere mögliche Defekte wie Chips zu erkennen. Die Maschine enthält auch einen anspruchsvollen Beleuchter mit gleichmäßiger Belichtung und texturiertem Licht, um genaue Resistmusterbilder zu gewährleisten. Das Werkzeug ist mit einer Feinausrichtungssoftware ausgestattet, um eine präzise Bildgebung zu gewährleisten. Es verfügt auch über Automatisierungsfunktionen auf Asset-Ebene, die den Roboterarm verwenden, um den Wafer in die optimale Sichtposition für eine bessere Bildgebung zu drehen. Dadurch kann das Modell den gesamten Wafer schnell und präzise auf Defekte scannen. TENCOR SP-3 hat eine kompakte Bauweise und kann leicht in jede Wafer-Fertigungslinie passen. Es verbindet sich mit Standard-Ethernet-, USB- und RS232-Ports für die Integration mit anderen Systemen. Die Ausrüstung ist in der Lage, verschiedene Arten von Defekten mit hoher Empfindlichkeit zu erkennen, einschließlich hydrophober, oberflächlicher und schmaler Muster. Wenn Defekte erkannt werden, erfasst das System die Daten mit genauen Informationen über Art und Ort. Die KLA SP3 enthält auch Ertragserweiterungsalgorithmen, die Fehlertypen erkennen können, die für andere Systeme möglicherweise nicht sichtbar sind. Dadurch kann der Anwender den Ertrag maximieren und Kosten senken. Das Gerät ist einfach zu bedienen und verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, um Inspektionsdaten anzuzeigen. Insgesamt ist KLA SP 3 eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die eine präzise Erkennung von Defekten bietet und zur Verbesserung der Produkterträge beiträgt. Es nutzt Machine-Vision-Technologie und erweiterte Automatisierungsfunktionen, um Fehler schnell und genau zu erkennen. Es enthält auch benutzerfreundliche grafische Oberfläche, die einfache Datenansicht erleichtert.