Gebraucht KLA / TENCOR SP3 #9236717 zu verkaufen
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ID: 9236717
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Wafer inspection system, 12"
2011 vintage.
KLA/TENCOR SP3 ist eine hochpräzise Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung für die moderne Geräteherstellung. Unter Verwendung einer leuchtend roten LED-Bildverarbeitungsmaschine für verbesserte Ergebnisse nutzt das System KLA branchenführende optische Messtechnik, Bildverarbeitungs- und Analysetechnologien, um eine ausgezeichnete Genauigkeit und Erkennungsgeschwindigkeit zu liefern. Der mehrschichtige Ansatz von KLA SP-3 beinhaltet eine überlegene Beleuchtung und Pixelauflösung mit der Fähigkeit, die für jede Anwendung benötigten spezifischen Daten zu sammeln. Das Gerät ermöglicht es Herstellern, Daten aus mehreren Messebenen zu erfassen und zu vergleichen, um Wafer- und Maskenmuster genau zu erkennen und zu identifizieren. Eine fortschrittliche optische Inspektionsmaschine, TENCOR SP 3, ist mit einem Hochgeschwindigkeits-Infrarot-Laser (IR), fortschrittlicher Optik, Lichtquellen und mehreren Bildsensoren ausgelegt. Diese Konstruktion ermöglicht es diesem Tool, Fehler an Masken- und Wafersystemen zu erkennen und gleichzeitig eine überlegene Auflösung zu bieten. Das Asset hat die Fähigkeit, Defekte sowohl in Masken- als auch in Wafermustern bei Auflösungen so fein wie eine einzige Lichtwellenlänge zerstörungsfrei zu messen und zu erkennen. Zusätzlich bietet das Modell Sub-Nanometer-Genauigkeit. Das Gerät hat einen modularen Aufbau, mit dem Benutzer es an ihre spezifische Anwendung anpassen können. Zum Beispiel kann das System verwendet werden, um eine breite Palette von Defekten wie Stapeln, Überbrücken, kurze Hosen, Verunreinigungen, Gruben, Kratzer und mehr zu erkennen. Darüber hinaus verfügt KLA SP 3 über eine benutzerfreundliche Softwareplattform mit einer Vielzahl von Funktionen, einschließlich einer Fernzugriffsfunktion und einer automatischen Prozesssteuerungsoptimierung, um das Gerät für bestimmte Anwendungen weiter anzupassen. Die Eigenschaften und Fähigkeiten von KLA/TENCOR SP 3 machen es zu einer idealen Lösung für eine überlegene Inspektion und Charakterisierung von Gerätemustern. Mit seinen präzisen und effizienten Lösungen ist SP 3 die erste Wahl für fortschrittliche Geräteherstellung und kritische Inspektion.
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