Gebraucht KLA / TENCOR Spectra CD-XT #293824131 zu verkaufen
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ID: 293824131
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Scatterometry metrology tool, 12"
Inline CD and profile measurements
2009 vintage.
KLA/TENCOR Spectra CD-XT ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die fortschrittliche Halbleiterherstellung. Es kombiniert überlegene Kantenauflösung, geometrische 1-2,5 Nanometer-Messungen und ultrarauscharme Messfähigkeit, so dass Halbleiterhersteller Fehler aus ihrer Produktionslinie schnell identifizieren und beseitigen können, was Kosten minimiert und Ertrag und Durchsatz verbessert. KLA Spectra CD-XT wurde entwickelt, um eine Reihe von Substraten zu inspizieren - von Photomaskenplatten bis zu Wafern. Es ist mit einem integrierten Wafer-Kantenerkennungssystem und einer präzisen optischen Messeinheit zur detaillierten Fehler- und Nutzungsanalyse ausgestattet. Dies bedeutet, dass die Maschine auch kleinste Defekte an Wafern und Masken bis zu 1 nm erkennen kann, die die Ausbeute beeinflussen können. TENCOR SPECTRA CD XT ist mit leistungsstarken Bild-Auto-Fokus und Auto-Tune-Funktionalitäten optimiert, so dass Benutzer schnell und genau sowohl Masken und Wafer zu überprüfen. Es verwendet auch ein hochpräzises optisches Werkzeug, um sich auf gescannte Partikel zu konzentrieren, wodurch mikroskopische Defekte in beiden Produkten erkannt werden können. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein großes, einstellbares ultraviolettes Beleuchtungsmodell und einen geräuscharmen CCD-Imager zur Aufrechterhaltung einer optimalen Auflösung, was zur Verringerung von Geräuschen bei den Gesamtmessungen beiträgt. Das Gerät verfügt zudem über erweiterte Funktionen zur Fehlerklassifizierung, die es dem Benutzer ermöglichen, zwischen realen und Fehlalarmen zu unterscheiden und so den Gesamtertrag zu optimieren. Darüber hinaus umfasst es eine leistungsstarke Visualisierungssoftware, die die Fehlerüberprüfung und -analyse vereinfacht und beschleunigt sowie Produkt- und Prozessvariabilität überwacht. Schließlich wird TENCOR Spectra CD-XT von der KLA renommierten Kundenbetreuung unterstützt, die hervorragenden Service und technische Unterstützung bietet, um sicherzustellen, dass das System von seiner besten Leistung und hält für eine lange Zeit. Dieses Gerät ist eine ideale Wahl für jeden Halbleiterhersteller, der höchste Qualität und Ertrag sicherstellen und gleichzeitig erhebliche Kosteneinsparungen erzielen möchte.
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