Gebraucht KLA / TENCOR Spectra CD-XT #9308718 zu verkaufen

KLA/TENCOR Spectra CD-XT ist eine umfassende Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterherstellung. Das System beinhaltet eine Waferstufe, eine Lichtquelle und ein Sensorpaket für hochauflösende Bildgebung zur Erkennung von Defekten an Maske und Wafer. Am Kern der Einheit ist KLA zeilenweise Hochleistungslaserbeleuchtung, die hochauflösende, schritthaltende Analyse von Defekten an Subnanometer-Beschlüssen ermöglicht. Die Maschine ist für fortschrittliche Technologien wie mehrschichtige Inspektionen, Metalllinieninspektionen und Prozesssteuerung optimiert. Der automatisierte Inspektionsprozess erhöht die Prozesskonvergenz und Produktivität und verkürzt gleichzeitig die Zykluszeit. Das Werkzeug hat eine Standardkonfiguration bestehend aus vier Kameras und zwei Laserlichtquellen, die eine breite Abdeckung des Wafers bieten. Das Gerät bietet Platz für bis zu acht Kameras und drei Laserlichtquellen. Das Modell verfügt über zwei Extraktionsalgorithmen, die die Inspektion von 1D-, 2D- oder 3D-Oberflächen sowie die Fehlercharakterisierung einschließlich Typ, Position und Größe ermöglichen. KLA Spectra CD-XT bietet auch erweiterte Messtechnik und Fehlerklassifizierungsfunktionen, wie Feature Matching und Slicing. Die innovativen Funktionen zur Extraktion von Merkmalen ermöglichen die Inspektion von Subwellenlängenstrukturen, einschließlich derjenigen, die für 3D-Strukturen gebaut wurden, was eine höhere Genauigkeit bei der Identifizierung von Musterdefekten ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine integrierte Analyse- und Reporting-Umgebung, die Datenanalyse, Qualitätskontrolle und Prozessüberwachung umfasst. So können Anwender Prozessabläufe überwachen, steuern und analysieren sowie Probleme schnell erkennen und beheben. Das System verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, mit der Benutzer das Gerät einfach steuern und Prozesse auf den Wafer anwenden können. TENCOR SPECTRA CD XT ist eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die eine Vielzahl von Prozessen und Technologien aufnehmen kann. Durch die Bereitstellung fortschrittlicher Messtechnik und Fehlerklassifizierung wurde das Tool entwickelt, um eine höhere Leistung und Genauigkeit bei der Erkennung von Fehlern zu ermöglichen. Dies hilft, eine höhere Ausbeute und Qualität von integrierten Halbleiterschaltungen zu gewährleisten.