Gebraucht KLA / TENCOR Spectra CD-XTS+ #9263050 zu verkaufen

KLA/TENCOR Spectra CD-XTS + ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für Halbleiterhersteller entwickelt wurde, um physikalische Parameter auf einem Wafer oder einer Matrize zu messen. Die Messtechnik erfolgt einen Schritt weiter, indem dem Anwender Rückmeldung gegeben wird, da die Tests über die Benutzeroberfläche durchgeführt werden, wodurch Echtzeit-Prozessanpassungen während des Wafer-Test- und Messprozesses ermöglicht werden. KLA Spectra CD-XTS + umfasst mehrere integrierte Komponenten, wie die Elektronenstrahlsäule, den optischen Sensor und die Softwaresteuerung, um hochauflösende Bilder und detaillierte physikalische Parameter aus getesteten Halbleitermerkmalen zu erfassen. Die Strahlablenkung in der Spalte wird durch Sätze von X-Y Koordinatensteuerspalten gesteuert und die Spalte ist auch mit einem leistungsstarken Data Acquisition Processor (DAP) integriert, der eine sehr schnelle Datenerfassung ermöglicht. Die X-Y-Bewegungen der Säule ermöglichen die Prüfung physikalischer Parameter auf einer sehr kleinen Fläche der Wafer- oder Düsenoberfläche bei hoher Auflösung. Das optische System TENCOR Spectra CD-XTS + enthält eine CCD-Kamera, die die Bilder der getesteten Bereiche erfasst, bevor sie an die Verarbeitungseinheit gesendet werden. Die Verarbeitungseinheit besteht aus einem leistungsfähigen Rechner mit den spezialisierten Software-Algorithmen, die die erfassten Rohbilder zur weiteren Analyse zu einer einheitlichen Datenkarte zusammenführen. Mithilfe dieser Datenkarte kann die Software dann mehrere spezialisierte Algorithmen verwenden, um verschiedene kritische Messungen zu berechnen und auch Trends in Bezug auf die Leistung im Laufe der Zeit zu ermitteln. Dies ermöglicht eine hohe Qualitätskontrolle und detaillierte Analyse potenzieller Prozessvariationen oder Inkonsistenzen, die sonst bei herkömmlichen Prüfverfahren verfehlt werden könnten. Darüber hinaus umfasst Spectra CD-XTS + ein spezielles softwaregesteuertes Laserlinienscannen (LLS), um die Strukturen auf dem Wafer räumlich zu lokalisieren und ihre detaillierten physikalischen Parameter wie Dicke, Neigungswinkel, Tiefe oder Abstand zwischen den Strukturen zu erfassen. Schließlich enthält es auch eine vollständig programmierbare Inspektionseinheit, die Fehler schnell identifiziert und meldet, sodass Benutzer schnell Korrekturmaßnahmen ergreifen oder Prozessoptimierungen initiieren können. Insgesamt ist KLA/TENCOR Spectra CD-XTS + eine leistungsstarke und vielseitige Wafer-Test- und Messtechnik-Maschine, die einen umfassenden Satz detaillierter physikalischer Parameter bereitstellt und gleichzeitig Feedback zur Verbesserung der Prozesssteuerung einbezieht. Dank seiner Kombination aus fortschrittlicher Strahlsteuerung, Inspektion und Datenverarbeitung ist KLA Spectra CD-XTS + eine ausgezeichnete Wahl für jeden Halbleiterherstellungsprozess.