Gebraucht KLA / TENCOR Spectra CD #9248732 zu verkaufen
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ID: 9248732
Weinlese: 2001
Film thickness measurement system
With F5x + CD (scatterometry) options
Pentium processor, 800 Mhz
OS: Win NT
Measurement modes: DBS and SE
Cognex 8100
Vacuum chuck, 12"
Single open cassette loader, 8"-12"
Pre-aligner
2001 vintage.
KLA/TENCOR Spectra CD ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die von der UCK erstellt wurde. Es wurde entwickelt, um Fehler in Masken und Wafern schnell und genau zu erkennen, um die effiziente Herstellung integrierter elektronischer Schaltungen zu ermöglichen. KLA Spectra CD-System verwendet Vollfeldinspektion, um Fehler auf Photomaske und Waferoberfläche zu identifizieren und zu analysieren. Eine Vollfeldinspektion liefert ein äußerst detailliertes Bild der untersuchten Oberfläche. Es ist auch in der Lage, sowohl planare Defekte als auch dreidimensionale Oberflächenunregelmäßigkeiten zu erkennen. Das Gerät ist in der Lage, Bilder aus verschiedenen Beleuchtungswinkeln aufzunehmen, um die Fehlererkennungsgenauigkeit weiter zu erhöhen. TENCOR SPECTRACD kann eine Vielzahl von Substraten verarbeiten, darunter Siliziumscheiben, Hartkontaktmasken und organische Materialien wie Polyimid oder PDMS. Um den höchsten Grad an Hilfsmitteldetektion zu erreichen, verwendet die Maschine eine Kombination aus Streuung, Spektroskopie und Streuung, um die Wafer- oder Maskenoberfläche mit hoher Genauigkeit zu analysieren. Das Werkzeug hat die Fähigkeit, Fehler mit einer Größe von 40 nm und einem Kontrastunterschied von weniger als .003 zu erkennen. Neben Fehlererkennungsfunktionen ist SPECTRACD Asset in der Lage, die allgemeine Genauigkeit und Form der Wafer- oder Maskenoberfläche zu analysieren. Dieses Verfahren trägt dazu bei, dass die hergestellten Masken und Wafer von höchster Qualität sind und bei Verwendung als Teil einer integrierten Schaltung optimal funktionieren. Das Modell ist auch in der Lage, den Brechungsindexunterschied zwischen dem Substrat und der Schicht zu analysieren, um Fehler zu identifizieren, die sonst unbemerkt bleiben würden. Es ist auch in der Lage, durch mehrere Schichten von ultradünnen Material zu überprüfen, so dass es Fehler in der Maske oder Wafer zu erkennen, die sonst nicht nachweisbar wäre. KLA/TENCOR SPECTRACD-Geräte sind extrem einfach zu bedienen und können schnell eingerichtet und gebrauchsfertig werden. Das System enthält auch eine Reihe fortschrittlicher Analysetools, mit denen Benutzer die Ergebnisse ihrer Inspektionen schnell und genau analysieren können. KLA SPECTRACD-Einheit wurde weit verbreitet verwendet, um die effiziente Produktion von integrierten Schaltungen zu gewährleisten. Es gilt weithin als eines der zuverlässigsten und umfassendsten verfügbaren Masken- und Wafer-Inspektionssysteme und trägt dazu bei, dass qualitativ hochwertige Chips rechtzeitig und kostengünstig hergestellt werden.
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