Gebraucht KLA / TENCOR STARlight SL3 URSA #9067571 zu verkaufen

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ID: 9067571
Weinlese: 1999
Reticle inspection system, 8" Non-SMIF 1999 vintage.
KLA/TENCOR STARlight SL3 URSA Mask & Wafer Inspection Equipment ist ein ultraauflösendes Bildgebungs- und Analysesystem des Halbleiterausrüsters UVP. Diese Einheit ist für zuverlässige, präzise und hochauflösende Inspektion und Analyse von Wafern, Masken und anderen Halbleiterbauelementen ausgelegt. KLA STARlight SL3 URSA ist eine verbesserte Version der bisherigen STARlight-Plattform und verfügt über eine verbesserte optische Leistung. Seine optische Maschine bietet eine maximale Auflösung von 0,6 Mikrometer und ermöglicht Unterangström-Oberflächenhöhenmessungen über große Bereiche. Es verfügt außerdem über ein hochmodernes Beleuchtungswerkzeug, das eine gleichmäßige Beleuchtung mit hoher Intensität für einen verbesserten Kontrast und geringeres Rauschen bietet. Das Asset verfügt über einen integrierten modularen Kopf. Dies ermöglicht mehrere Konfigurationen und flexible Setups, die auf die Anforderungen des Kunden zugeschnitten sind. Dieser modulare Kopf enthält auch ein fortschrittliches Echtzeit-Intraspektionsmodell mit einer benutzerorientierten Schnittstelle. Diese Intraspektionsausrüstung kann eine Vielzahl von Defekten von Wafern und Masken messen, und die resultierenden Bilder können aus verschiedenen Blickwinkeln betrachtet werden. Die integrierte Analysesoftware des Systems ist benutzerfreundlich und einfach zu bedienen. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Strukturen und Masken zu analysieren, wie sogenannte „Reverse Printing“ -Merkmale. Die Software ermöglicht auch die Analyse von Multi-Material-Bildgebungssystemen wie Profilometrie und Mehrschichtinspektion aus einer gemeinsamen Datenbank. TENCOR STARlight SL3 URSA kommt auch mit einer leistungsstarken Mikroskopie-Einheit. Es ist mit einer Hochleistungsobjektivlinse mit einer Auflösung von 0,2 Mikron ausgestattet, wodurch es zur Inspektion von Maskenschicht-Schnittstellen oder Unregelmäßigkeiten geeignet ist. Die integrierte Maskeninspektionsmaschine ist auch in der Lage, unter anderem Defekte wie Partikelverunreinigungen, Gräben und Rückstände zu erkennen. STARlight SL3 URSA ist ein kompaktes Werkzeug, das einfach einzurichten und zu bedienen ist. Es verfügt über eine robuste mechanische Konstruktion sowie eine vibrationsfreie Plattform für einen zuverlässigen Betrieb. Es kommt auch mit einer Reihe von erweiterten Automatisierungstools, wie automatisierte Fokussierungsfähigkeit, programmierbare Scans, und mehrere Parameter Anpassung. KLA/TENCOR STARlight SL3 URSA ist eine effiziente und kostengünstige WA- und Maskenprüfanlage für die Halbleiterindustrie. Seine hervorragende optische Leistung und leistungsstarke Software machen es zu einer großen Wahl für hochpräzise Inspektionen. Es ist zuverlässig und sorgt für genaue und zuverlässige Ergebnisse.
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