Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9211403 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1 Classic ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die sowohl für Produktions- als auch für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen entwickelt wurde. Es bietet eine Kombination aus hochauflösender Direktansichtsprüfung, automatisierter Fehlerüberprüfung und optischer Inline-Messtechnik für die anspruchsvollsten Fehlerinspektionsanwendungen. Das SP1-System bietet ein einstellbares bildgebendes Design, mit dem Bilder unterschiedlicher Größe, Vergrößerung und Wiederholrate schnell und präzise aufgenommen werden können. Das bildgebende Design umfasst eine ganze Reihe von digitalen Bild- und Softwarekomponenten, wie fortschrittliche photeometrische, radiometrische und Musteridentifikationsalgorithmen und eine Mehrpunkt-Beleuchtungseinheit. Die SP1-Maschine bietet zudem eine hochauflösende Bildgebung von bis zu 1,0 Mikrometer Tonhöhe, was mehr als ausreichend ist, um Strukturen mit kritischen Abmessungen (CD) zu betrachten und Fehler mit geringer Vergrößerung abzubilden. Darüber hinaus ist das SP1-Tool in der Lage, Bilder mit einer Geschwindigkeit von bis zu 2000 Bildern pro Sekunde zu erfassen und kann so konfiguriert werden, dass der gesamte Wafer innerhalb eines 24-Stunden-Zeitraums abgebildet wird. Das bildgebende Design des SP1-Assets wird durch ein modernes Fehlerüberprüfungsmodell ergänzt, das eine leistungsstarke Kombination aus Vision-Algorithmen, komplexen Datenanalysetools und einer ausgeklügelten automatischen Klassifizierungsausrüstung verwendet. Dieses Fehlerüberprüfungssystem ermöglicht automatisierte Inspektionen für eine Vielzahl von Fehlertypen, einschließlich prozessinduzierter Partikel, Öffnungs-/Grabungsfehler und PSMs. Die Fehlerüberprüfungseinheit kann auch so konfiguriert werden, dass sie benutzerdefinierte Tests wie automatisierte BGA-Konnektivitätstests oder einen einfachen Pixelvergleichstest enthält. Darüber hinaus verfügt die SP1-Maschine über ein integriertes optisches Inline-Messtechnikwerkzeug, das umfassende Messungen von Waferprofilformen und deren damit verbundenen kritischen Abmessungen ermöglicht. Diese messtechnische Komponente ist in der Lage, eine Vielzahl kritischer Dimensionen zu messen, darunter Overlay, Linienbreiten und -abstände, kritische Flächengrößen, kritische Schichtdicken und Linienkantenrauhigkeiten. Schließlich enthält das SP1-Modell auch eine Reihe fortschrittlicher Software-Tools, die die Erfassung, Verarbeitung und Speicherung von Bilddaten vereinfachen. Diese Software-Tools umfassen detaillierte Fehlerklassifizierungsanalysen, automatisierte Fehlermarkierungs- und Reparaturfunktionen sowie ausgeklügelte photometrische und radiometrische Bildgebungsoptionen. Insgesamt ist KLA SP1 Classic eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die eine breite Palette von Funktionen für eine Vielzahl von Fehlerinspektionsanwendungen bietet. Mit seinem einstellbaren bildgebenden Design, der hochauflösenden Bildgebung, dem automatisierten Fehlerüberprüfungssystem und der optischen Inline-Messtechnik eignet sich die SP1-Einheit ideal für Produktions- und Forschungsumgebungen, die umfassende Lösungen zur Fehlerinspektion erfordern.