Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9410848 zu verkaufen
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KLA/TENCOR SP1 Classic ist eine universelle und hochpräzise Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die Prozesskontrolle, Ausbeuteverbesserung und Fehlerüberwachung kritischer Prozessschritte bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Dieses System bietet eine schnelle, automatisierte, datengesteuerte Laufzeitanalyse von Erträgen, Prozessleistung und Ertragstrends, wodurch kritische Entscheidungen schnell und präzise getroffen werden können. Die Einheit integriert sich in Prozesswerkzeuge und Produktionsdatenbanken, um eine höhere Produktivität zu ermöglichen, sodass Endanwender Prozesse optimieren und ihren Produktzyklus verkürzen können. KLA SP1 Classic verwendet fortschrittliche bildgebende Technologien, um Wafer und Masken zu inspizieren, während sie verschiedene Produktionsschritte wie Lithographie, Ätzen, Abscheiden und Waferbeschichtungen durchlaufen. Es enthält eine Farbkamera, die es ermöglicht, mehrere Bilder der Oberfläche bis zu 10.000x Vergrößerung zu erfassen. Dadurch kann die Maschine auch kleinste Fehler erkennen, die sonst nicht nachweisbar sind. TENCOR SP 1 CLASSIC verfügt zudem über ein eingebettetes AutoFocus-Tool, das präzise Messungen der Wafer und Masken ermöglicht. Dieser Vermögenswert kann Topographie, Overlay-Inspektion und -Ausrichtung, Widerstandsprofile und mehr messen. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, sich wiederholende Strukturen und Strukturen unterschiedlicher Größe zu identifizieren, so dass es Waferdefekte erkennen kann, die mit einer herkömmlichen bildgebenden Ausrüstung schwer zu erkennen sein können. SP1 Classic bietet darüber hinaus eine Softwareplattform zum Erfassen, Analysieren und Vergleichen von Daten aus den Masken- und Waferinspektionen. Diese Plattform ermöglicht Benutzern den Zugriff auf die erfassten Bilder über eine intuitive Benutzeroberfläche mit erweiterten Funktionen wie automatisierte Fehlererkennung, dreidimensionale Anzeige, hochauflösende Bildverbesserung, Spektralanalyse und erweiterte Data-Mining-Algorithmen. Die Software kann auf spezifische Bedürfnisse zugeschnitten und angepasst werden, um sicherzustellen, dass die Daten immer korrekt und aktuell sind. Schließlich ist KLA/TENCOR SP 1 CLASSIC ein effektives und zuverlässiges Inspektionssystem mit hoher Genauigkeit und Präzision. Durch die Integration in andere Prozesswerkzeuge ermöglicht diese Einheit es Endanwendern, verbesserte Erträge und Prozesseffizienz zu erzielen, wodurch der Produktzyklus und die Produktionskosten reduziert werden.
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