Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP1-TBI #293760176 zu verkaufen

ID: 293760176
Wafergröße: 6"-12"
Inspection system, 6"-12".
KLA/TENCOR Surfscan SP1-TBI ist eine führende Kantenmasken- und Wafer-Inspektionsanlage, die speziell für fortschrittliche Knoten der Halbleitertechnologie wie 10 Nanometer (nm) und darunter entwickelt wurde. Das System kombiniert überlegene Fehlererkennungsfunktionen und branchenführenden Durchsatz, um sicherzustellen, dass die anspruchsvollsten Masken- und Wafer-Inspektionen möglich sind. Das Gerät ist eine „All-in-One“ -Lösung, die den leistungsstarken Surfscan-Scankopf, Oberflächenmapping-Mikroskope, patentierte Reinigungsprozesse, optische Ausrichtwerkzeuge und die Steuerungs- und Schnittstellensoftware umfasst, um die Leistung zu maximieren. Die Maschine bietet überlegene Oberflächenbildgebung und Fehlererkennung für die anspruchsvollsten Anforderungen an Masken- und Wafer-Inspektion. Der Surfscan Scankopf ist ein Präzisionsinstrument für anspruchsvolle Masken- und Wafer-Inspektionsaufgaben. Es bietet hohen Durchsatz, niedrige Latenz und rauscharme Bildgebung. Es bietet auch überlegene Auflösung, großes Sichtfeld und automatisierte Fehlererkennungstechnologie. Der Scankopf kann sowohl Photomaskenstrukturen als auch Wafer abtasten und messen. Die Oberflächenmappingmikroskope ermöglichen eine detaillierte Überprüfung und Analyse von Teststrukturen auf Wafer und Photomaske. Die Mikroskope bieten ein großes Sichtfeld und eine überlegene Vergrößerung, die eine schnelle Erkennung von Kontaminationen und Defekten ermöglicht. Die Mikroskopprismen ermöglichen zudem eine detaillierte Mustererkennung und Bildverarbeitung zur Verbesserung der Fehlererkennungsgenauigkeit. Die patentierten Reinigungsverfahren ermöglichen die Beseitigung kleinerer Mängel von der Oberfläche der Photomaske oder des Wafers, ohne das Produktionsmuster zu beschädigen. Diese Prozesse beinhalten präzise Reinigungstechniken und den Einsatz fortgeschrittener verbundener Materialien, die die Oberfläche reinigen, ohne die Merkmale zu beschädigen oder das gesamte Produktionsmuster zu verunstalten. Das Tool enthält auch optische Ausrichtungstools, die speziell zur Verbesserung der Performance des Asset entwickelt wurden. Die Werkzeuge ermöglichen eine präzise Ausrichtung der Optik, um sicherzustellen, dass das Modell richtig kalibriert und optimal für alle Operationen ausgerichtet ist. Die Steuerungs- und Schnittstellensoftware bietet eine umfassende Ausstattungsschnittstelle, mit der der Benutzer das System und seine Prozesse steuern kann. Die Schnittstelle bietet auch Zugriff auf Echtzeit-Statusinformationen und -Daten und gibt dem Benutzer die detailliertesten und aktuellsten Informationen über die Leistung des Geräts. KLA Surfscan SP1-TBI ist die ultimative Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine für die anspruchsvollsten Anwendungen. Mit einem leistungsstarken Scannerkopf mit hohem Durchsatz, Mikroskopprismen, Reinigungsprozessen sowie Steuerungs- und Schnittstellensoftware ist das Tool eine umfassende Lösung, die die Leistung maximiert und höchste Chipausbeute und -qualität ermöglicht.
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