Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293602599 zu verkaufen
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ID: 293602599
Weinlese: 2005
Inspection system, parts machine
Controller missing
2005 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine hochentwickelte Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung. KLA Surfscan SP2 ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Erkennung von Defekten in einer frühen Phase des Geräteherstellungsprozesses, mit dem Korrekturmaßnahmen durchgeführt werden können, bevor eine teurere Verarbeitung stattfindet. TENCOR SURFSCAN SP 2 's fortschrittliche Bildgebungstechnologie, Beleuchtung und rechenintensive Detektions- und Analysealgorithmen ermöglichen es ihm, Fehler zu erkennen, die zu klein sind, um mit bloßem Auge zu sehen, oder durch andere Funktionen verdeckt oder versteckt werden können. Dadurch kann der Bediener Fehler genau identifizieren, auch solche, die sonst durch herkömmliche optische, elektrische oder akustische Methoden verfehlt würden. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 ist mit einem bildgebenden System ausgestattet, das sowohl Helligkeits- als auch Polarisatorbildgebungstechniken verwendet, um das für eine erweiterte visuelle Inspektion erforderliche Detailniveau bereitzustellen. Es erreicht eine Bildauflösung von bis zu 3,2 µm und liefert Illustrationen, die klar und einfach zu interpretieren sind. Darüber hinaus enthält das Gerät Wafer- und Maskeninspektionsleuchten sowie eine Reihe von Software-Tools, mit denen der Bediener Funktionen auf beiden Seiten des Wafers oder der Maske messen, vergleichen und analysieren kann. Die SPI-Algorithmen von KLA SURFSCAN SP 2, gekoppelt mit einer Vielzahl von wählbaren Beleuchtungseinstellungen, sind ausgestattet, um Kanten-, Eck- und Linienfehler verschiedener Größen zu erkennen, einschließlich solcher, die kinematisch verschwommen sein können. Der SPI ermöglicht eine lokalisierte Bildanalyse und -messung, während die Einstellungen die Flexibilität bieten, die Maschine an die spezifischen Anforderungen jedes Geräts anzupassen. Der Wafer- und Maskeninspektionsprozess wird durch eine Vielzahl von Automatisierungsprozessen, die die Datenerfassung und -analyse vereinfachen, weiter verbessert. Das Werkzeug kann so eingestellt werden, dass es automatisch einem Vorlagenformat für die Datenanalyse und Geräteprüfung folgt, einschließlich Methoden zur Auswahl der am besten geeigneten Abschnitte für die Untersuchung, zum Festlegen der am besten geeigneten Inspektionseinstellungen und zum Warnen von Betreibern auf Fehler. SURFSCAN SP 2 erleichtert auch die Übertragung und Speicherung von Daten über seine Online-Systeme, wodurch Ergebnisse aus mehreren Geräten schnell gesammelt und verglichen werden können. Schließlich ist die Anlage vollständig kompatibel mit branchenüblichen Masken- und Wafer-Produktionssystemen für eine einfache Integration in bestehende Produktionsprozesse. Insgesamt ist Surfscan SP2 ein hervorragendes Werkzeug, um Fehler in einem frühen Stadium des Geräteherstellungsprozesses zu erkennen. Die fortschrittliche Bildgebungstechnologie und die genauen Fehlererkennungsfunktionen bieten dem Bediener ein unschätzbares Werkzeug zur schnellen und effizienten Inspektion von Wafern und Masken.
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