Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293603304 zu verkaufen

KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die entwickelt wurde, um Fehler auf Halbleitermasken und Waferoberflächen genau zu erkennen. Es verfügt über branchenführende Optik, proprietäre Algorithmen und hochpräzise Elektronik, um selbst die schwierigsten Masken- und Waferdefekte schnell zu identifizieren und zu messen. Das KLA Surfscan SP2 System kombiniert zwei komplementäre Erkennungstechniken: Broadband Scanning Imaging (BSI) und Edge Contrast Imaging (ECI). BSI ist eine hochauflösende telezentrische Vollfeldabbildungstechnik, die das gesamte 2D-Bild eines Wafers oder einer Maske mit mikroskopischer Auflösung erfasst. Es bietet eine sensible Erkennung von Defekten an kleinen Merkmalen, die eine präzise Messung und Identifizierung von Mustern mit komplexen Hintergründen ermöglicht. ECI konzentriert sich auf identifizierte Defektmerkmale, indem kleine Vibrationen und/oder laterale Bewegungen verwendet werden, um den Kantenkontrast in ultrakleinen Strukturen genau zu messen. Diese Technik ermöglicht eine präzise Lokalisierung und Messung einzelner Defekte und ermöglicht eine präzise Quantifizierung der Fehlerart und -größe. Das Gerät ist auf maximale Flexibilität ausgelegt und kann für eine Vielzahl von Anwendungen konfiguriert werden, darunter optoelektronische Messungen, CD-SEM und Spacer Imaging, Messungen kritischer Abmessungen und Fehlerinspektionen. Die vollautomatisierte Maschine ermöglicht einen konsistenten und effizienten Inspektionsprozess mit Benutzern, die in der Lage sind, Fehlererkennungskriterien für eine Vielzahl von Wafer- und Maskentypen anzupassen. TENCOR SURFSCAN SP 2 bietet erweiterte Bildgebungs- und Anzeigefunktionen wie optische Bildgebung mit hoher Vergrößerung, lokalisierte Inspektion und automatisierte Merkmalserkennung. Es bietet dynamische Fehlererkennungskriterien mit ausgefeilten Fehlererkennungsalgorithmen, so dass der Benutzer die am besten geeignete Prüfstrategie und angepasste Einstellungen auswählen kann. Mit automatisierter Fehlerklassifizierung, manueller Überprüfung und Stanzfehlermarkierung bietet das Tool einen effizienten und umfassenden Inspektions- und Fehlerüberprüfungsprozess. Das Asset verfügt auch über eine Vielzahl von Funktionen zur Optimierung des Fehlererkennungsprozesses, wie ein automatisiertes Messmodell mit Gerätestufendatensammlung sowie automatisierte Fehlerverfolgung und Nachprüfungsanalyse. Solche Funktionen ermöglichen es Benutzern, ihre Prüfzyklen zu verkürzen und mögliche Fehler an einem Wafer oder einer Maske schnell zu erkennen. Abschließend ist TENCOR Surfscan SP2 eine fortschrittliche und vielseitige Inspektionsausrüstung, die für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es bietet eine Vielzahl von Funktionen und Fähigkeiten, die es ideal für die Erkennung und Analyse von winzigen Masken- und Waferdefekten machen, so dass Benutzer Fehler auch auf den anspruchsvollsten Halbleiteroberflächen erkennen und messen können.