Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293606549 zu verkaufen

KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine fortschrittliche, automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage der KLA Corporation. Das System wurde entwickelt, um sicherzustellen, dass jeder Schritt bei der Herstellung fortschrittlicher elektronischer Geräte so nah wie möglich an der Perfektion ist und höchste Präzision für extrem empfindliche und komplizierte Komponenten bietet. Der Kern der Einheit ist seine ProTEG Software, die fortschrittliche zweidimensionale Bildgebungstechniken verwendet, um Fehler in Mustern bis zum Nanometerstand zu erkennen. Seine „Multi-Channel Spectral Imaging“ (MCSI) Technologie nutzt mehrere Spektralbänder, um Fehler über die Grenzen herkömmlicher optischer Systeme hinaus zu erkennen. Dies funktioniert zusammen mit fortgeschrittenen Mustererkennungsalgorithmen, um die schwierigsten Fehler zu erkennen, die andernfalls vermisst würden oder unentdeckt blieben. Mit dieser Technologie führt der SP2 auch eine automatische Überprüfung von Overlay, kritischen Abmessungen (CD) und elektrischen Defekten durch. Seine patentierte DFI-Technik (Darkfield Illumination) sorgt für die Erkennung extrem schwacher und enger Merkmale in Schaltungsmustern. Durch die Analyse von Leitfähigkeit und Widerstand kann der SP2 potenzielle elektrische Fehler identifizieren, einschließlich Überbrückung, Kurzschluss und offene Schaltungen. Der SP2 kommt auch mit einer Vielzahl von Wafer Inspektion und Maske Inspektion Fähigkeiten, einschließlich ScanEtch Plus (SEP) und Wafer Edge Inspect (WEI). SEP ist eine integrierte Multi-Substrat-Zulage für eine verbesserte Verarbeitung kritischer und unkritischer Substrate. WEI prüft die Messtechnik des Wafers sowie verschiedene Arten von Defekten, wie Kratzer und Verschmutzungen. Über die Komponenten hinaus verfügt der SP2 über eine integrierte Benutzeroberfläche, die eine intuitive Steuerung, Überwachung und Einrichtung der Maschine ermöglicht. Die Benutzeroberfläche ermöglicht auch die Anpassung von Masken und Waferinspektionsstrategien innerhalb des Tools sowie die Integration einer Vielzahl externer Drittautomationssysteme. Zusammengefasst bietet KLA Surfscan SP2 Anwendern eine hochmoderne, automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionslösung. Dank seiner innovativen Eigenschaften und Fähigkeiten ist es ideal für eine Vielzahl robuster, präziser Fertigungsumgebungen.