Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293624108 zu verkaufen

KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die entwickelt wurde, um Masken und Wafer schnell und genau zu überprüfen. Das System verwendet fortschrittliche Optik und Software, um Waferkanten und andere Funktionen auf Gleichmäßigkeit und Form zu überprüfen. Eine automatisierte Palette ermöglicht die Handhabung und den Transport von Wafern mit einer einzigartigen Kalibriereinheit, die sicherstellt, dass jeder Wafer in seiner genauesten Form gehandhabt wird. Die Maschine unterstützt auch branchenübliche Maske zu Wafer-Transfers, so dass ein optimaler Betrieb bei der Arbeit mit großen Mengen an Masken. Das optische Subsystem des Werkzeugs ist eine zweistufige Konfiguration bestehend aus einer luftgekühlten, gepulsten Xenon-Beleuchtungsquelle und einer abgetasteten CCD-Kamera. Die Optik des Objekts wurde entwickelt, um eine hochauflösende Abbildung sowohl der Maske als auch der Waferoberfläche zu ermöglichen. Das Beleuchtungsdesign verwendet einen Diffusor und ein Schmalwinkel-Maskierungsmodell, um eine gleichmäßige Beleuchtung zu gewährleisten, während ein wählbarer Antireflexionsfilter für den richtigen Beleuchtungswinkel sorgt. Die Software-Suite des Geräts wurde entwickelt, um Fehler in den Masken und Wafern zu erkennen, zu analysieren und zu bewerten. KLA Surfscan SP2 verwendet eine Reihe von Algorithmen, um eine Vielzahl von Defekten wie Partikel, Korrosion, Kratzer und Verzerrungen zu erkennen und zu sortieren. Das System bietet auch eine Defekt-Toolbox zur Anpassung von Sollwertaktionen sowie eine statistische Prozesssteuerung (SPC) zur Analyse von Trends in Masken- und Waferinspektionsprozessen. TENCOR SURFSCAN SP 2 Einheit bietet Skalierbarkeit und Flexibilität, um die Bedürfnisse der verschiedenen Anwendungen zu erfüllen. Die verstellbare optische Maschine ermöglicht es dem Benutzer, das Sichtfeld anzupassen, wodurch sowohl kleine als auch große Oberflächenmerkmale erkannt und inspiziert werden können. Das Werkzeug enthält auch eine Waferkantenbestimmungseinrichtung, die eine zusätzliche Schicht von Genauigkeit bei der Positionierung von Wafern für die Inspektion bietet. SURFSCAN SP 2 ist ein fortschrittliches Masken- und Waferinspektionsmodell. Seine erweiterte Optik, Software-Suite und Skalierbarkeit machen es zu einer idealen Lösung für Masken- und Wafer-Inspektionsanwendungen. Mit seinem überlegenen Design ist die Ausrüstung in der Lage, eine Vielzahl von Defekten schnell und genau zu erkennen und zu bewerten, und bietet Benutzern zuverlässige und genaue Inspektionsergebnisse.