Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293625532 zu verkaufen

KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung für die Halbleiterherstellung. Dieses System wurde entwickelt, um Halbleiter-Halbleiterscheiben, Masken und Photomasken mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu überprüfen. KLA Surfscan SP2-Einheit ist in der Lage, Fehler zu erkennen, die 100 Nanometer groß sind, mit einer räumlichen Auflösung von weniger als einem Nanometer. Es ist mit einem 6-Achsen-Bewegungsmanipulator ausgestattet, der es der Maschine ermöglicht, mehrere Punkte auf dem Wafer gleichzeitig zu überprüfen. TENCOR SURFSCAN SP 2 Werkzeug verwendet mehrere Bildsensortechnologien, um Fehler in einer Vielzahl von Halbleitermasken und Wafern zu erkennen. Diese Technologien umfassen Hellfeldbildgebung, Dunkelfeldbildgebung und optische Mikroskopie. Brightfield Imaging wird zur Inspektion von binären Masken und Wafern verwendet, während Darkfield Imaging für exponierte Funktionen und Fehlerisolierung verwendet wird. Die optische Mikroskopie ermöglicht die Fehlerinspektion von strukturierten Halbleiterscheiben. Das Asset ist auch mit einer integrierten Benutzeroberfläche ausgestattet, mit der Benutzer problemlos Sondierungsparameter eingeben, Testparameter auswählen und den Anzeigebereich für verschiedene Bildtypen festlegen können. Die Software ist auch in der Lage, Testparameter für verschiedene Bilder automatisch für genauere Ergebnisse anzupassen. Darüber hinaus umfasst das Modell einen Anzeigemodus, mit dem Benutzer verdächtige Bereiche des Wafers oder der Maske manuell überprüfen können. SURFSCAN SP 2-Geräte verwenden einen Sechs-Achsen-Bewegungsmanipulator, um mehrere Punkte des Wafers oder der Maske schnell und effizient genau zu durchsuchen. Das System ermöglicht es Benutzern auch, mehrere Messungen in einem einzigen Scan durchzuführen. Darüber hinaus wurde das Gerät entwickelt, um die Kreuzkontamination zwischen verschiedenen Proben aufgrund seiner fortschrittlichen Luftmanagementmaschine zu minimieren. Das KLA SURFSCAN SP 2 Tool ist benutzerfreundlich und bietet Anwendern eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI). Die GUI ermöglicht es Benutzern, die aufgenommenen Bilder einfach zu überprüfen, Alarme einzustellen und Betriebsparameter zu überwachen. Das Asset enthält auch eine Reihe integrierter Funktionen, mit denen Benutzer Fehler schnell und genau analysieren können, einschließlich Signaturanalyse und Klassifizierung, Fehlerisolierung und erweiterte Fehleranalyse. Insgesamt ist KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 ein fortschrittliches Masken- und Waferinspektionsmodell, das auf hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt ist. Das Gerät nutzt eine Reihe von Bilderfassungstechnologien, um Fehler mit einer räumlichen Auflösung von weniger als einem Nanometer zu erkennen, sowie einen 6-Achsen-Bewegungsmanipulator und eine intuitive GUI für effiziente Scan- und Datenanalyse.