Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293643757 zu verkaufen

KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage zur Messung kritischer Abmessungen über Halbleitersubstrate hinweg. Es kombiniert Helligkeitsfeld- und Dunkelfeldbildfunktionen, um eine beispiellose Auflösung und Genauigkeit zu bieten. Das System verfügt über eine hochauflösende optische Einheit mit einer Vielzahl von Vergrößerungsoptionen und Winkeln. KLA Surfscan SP2 ist in der Lage, Proben bis zu einer Größe von 300 mm abzubilden, die von engen Linienbreiten bis zu großen und komplexen Mustern reicht und die höchste Prozessüberwachung und -kontrolle bietet. Die Optikmaschine in TENCOR SURFSCAN SP 2 ist auf höchste Genauigkeit ausgelegt, wobei eine umfangreiche Tiefenschärfe eine scharfe Bildgebung auch über komplexe Muster hinweg gewährleistet. Die Lichtquelle mit hoher Helligkeit sorgt für einen maximalen Wirkungsgrad des Signal-Rausch-Verhältnisses, während ein optimiertes Sichtfeld eine hervorragende Weitwinkelbeleuchtung eines einzelnen Sichtfeldes auch bei ungleichmäßiger Topographie ermöglicht. Dadurch kann das Werkzeug kleine Fehler oder Messfehler erkennen. Das Hochgeschwindigkeits-Autofokus-Asset in Surfscan SP2 erfasst leicht Bilder von Funktionen in allen Tiefen der Probe, einschließlich enger Linienmuster, Vias und Kontaktlöcher, für maximale Genauigkeit. Das Modell verfügt über mehrere Punkt-und-Klick-Werkzeugsätze, so dass Kunden jede Substratoberfläche ohne manuelle Anpassungen aufnehmen können. Darüber hinaus bietet SURFSCAN SP 2 eine verbesserte Produktivität mit schnellen Bildaufnahmegeschwindigkeiten und einem intelligenten vorlagenbasierten Workflow. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 ermöglicht mit seiner ultrahochauflösenden optischen Ausrüstung eine genaue CD-Messung (Critical Dimension). Die erweiterten Bildgebungsfunktionen des Systems, wie mehrere Bildstapel, Zeitraffer-Bildgebung und Fernfeldbildgebung, bieten eine genaue Lückenmessung und können selbst feinste CD-Verstöße erkennen. Mit den umfassenden Analysefunktionen können Anwender neben der automatisierten Fehlererkennungs- und Identifikationsmaschine höchste Qualitäts- und Prozesskontrollstandards beibehalten. TENCOR Surfscan SP2 wurde entwickelt, um benutzerfreundlich zu sein und ist anpassbar, um spezifische Kundenbedürfnisse zu erfüllen. Es kann in jede vorhandene Werkzeugkette integriert werden und seine erweiterten Bildanalysefunktionen bieten eine Komplettlösung für die Masken- und Waferinspektion. Es verfügt über eine einfache, intuitive Oberfläche und benutzerdefinierte automatisierte Prozesse für eine schnelle Aufgabenausführung. KLA SURFSCAN SP 2 ist eine ideale Masken- und Wafer-Inspektionseinheit zur Reduzierung von Produktionsmängeln und zur Steigerung von Kosteneinsparungen.