Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293745400 zu verkaufen

ID: 293745400
Weinlese: 2004
Inspection system 2004 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine leistungsstarke Masken- und Waferinspektionsanlage, die sowohl für dynamische als auch für Fehlererkennungsanwendungen konzipiert ist. Mit einem innovativen Design kombiniert das System fortschrittliche Bildgebungs-, Mess- und Fehlererkennungstechnologien, um Herstellern zu helfen, Fehler genau zu erkennen und Lösungen zur Teilequalitätskontrolle zu liefern. Die Schaueinheit wird mit einer CCD Hochleistungsfarbenbildanschaffungsmaschine ausgestattet, die schnelle Bildaufbereitung der Maske und Oblateneigenschaften mit der Datenerfassung bis zu 300 Pixel pro Sekunde ermöglicht. Dieses Tool bietet auch eine Reihe von automatisierten Reinigungswerkzeugen, die eine optimale Inspektionsleistung ermöglichen. Die Anlage ist auch in der Lage, Submikron-Defekte zu erkennen, einschließlich Partikelverunreinigungen, kritische Dimensionsmängel und Sub-Pixel-Defekte. Die bildgebenden Sensoren mit bis zu 4-facher Auflösung je Fläche bieten Erweiterungs-, Kontrast- und Kontraststeuerungsfunktionen, sodass der Benutzer die bildgebenden Parameter an verschiedene Masken und Wafertypen anpassen kann. Der leistungsstarke Defect Detection Algorithmus des Modells wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Arten von Defekten zu identifizieren, einschließlich Drucküberlagerung, Partikelverunreinigung und kritischen Dimensionsmängeln. Der Algorithmus kann auch mögliche Auffälligkeiten wie Dreiecksfehler, Auflösungsanforderungen und Lackfehler erkennen. Darüber hinaus ist das Gerät mit proprietären Laserausrichtungswerkzeugen ausgestattet, die zur Anpassung und Ausrichtung des Bildes an die Materialgeometrie und zur Verbesserung der Erkennungsgenauigkeit verwendet werden. KLA Surfscan SP2 verfügt auch über ein hochempfindliches Defect Detectivity Lab, das verwendet werden kann, um eine Reihe von Materialbedingungen und Konfigurationen zu simulieren und die Ergebnisse anzuwenden, um mögliche Fehler zu identifizieren. Das System enthält auch eine Reihe von benutzerfreundlichen Funktionen, wie eine benutzerdefinierte Symbolleiste, die einfachen Zugriff auf bestimmte Tools und Funktionen ermöglicht, integrierte Diagnosetools, um die Fehlerbehebung zu erleichtern, und eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), die es einfach macht, die Anwendung zu navigieren. Darüber hinaus bietet das Gerät unbegrenzte Kundenkontoverwaltungsfunktionen, so dass Benutzer ihre Arbeit speichern und jederzeit schnell auf ihre Projekte zugreifen können. TENCOR SURFSCAN SP 2 ist eine leistungsstarke Inspektionsmaschine, die Herstellern helfen soll, Fehler schnell und genau zu erkennen und zu beheben. Seine leistungsstarke Hardware und intuitive Software machen es zu einer idealen Lösung für eine Vielzahl von Masken- und Wafer-Inspektionsanforderungen.
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