Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293749145 zu verkaufen

ID: 293749145
Weinlese: 2010
Inspection system 2010 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die Halbleiterherstellungsindustrie entwickelt wurde. Dieses System ermöglicht die Inspektion von Bildqualität, Mustergenauigkeit und eingehender Fehlerinspektion zur Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen mikroelektronischen Geräten. Es bietet beispiellose Bildgeschwindigkeit und Auflösung, um sicherzustellen, dass die hochwertigsten Masken- und Waferbilder erzeugt werden. KLA Surfscan SP2 wird von einer Reihe fortschrittlicher Optik und High-End-Detektoren angetrieben, die mit einer Hochleistungs-Computereinheit für eine schnelle Verarbeitung verbunden sind. Es nutzt die Laser Interferometric Confocal Technology (LCT), um Fehler in Subpixelgröße zu erfassen und zu analysieren. Die Maschine verwendet auch patentierte 3D-Scan-Objektive und hochauflösende Bilddetektoren, um die Genauigkeit der Inspektionen zu erhöhen. TENCOR SURFSCAN SP 2 ist mit einer Reihe von Kalibrierungsstandards für eine Vielzahl von Wafermaterialien wie Al2O3, InP, SiGe usw. ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass bei der Inspektion die besten Abbildungsergebnisse erzielt werden. Das Tool kann auch eine Vielzahl von anormalen 3D-Mustern auf den Masken oder Wafern erkennen, so dass subtile Fehler und Variationen besser erkannt werden können. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 wurde entwickelt, um eine umfassende Masken- und Wafer-Inspektionslösung bereitzustellen. Dazu gehört die Möglichkeit, Moire-Muster, Fiducials, CD-Muster und Mikromuster bis auf 0,12 Mikrometer zu überprüfen. Alle diese Merkmale können in Echtzeit überprüft werden, wodurch die Analyse nach der Inspektion entfällt. Zusätzlich kann das Gut Oxid- und Partikelfehler, Verdünnung oder Verdickung und andere Submikron-Filmdefekte erkennen. Zur weiteren Analyse ist TENCOR Surfscan SP2 mit einer Vielzahl von Bildfunktionen ausgestattet, darunter Lupe, Flächenauswahl, Zoom, Überlagerung der Führungslinie und Profilmessung. Es enthält auch eine Reihe von Filtern, wie Farbumkehr, Zeitstempel, Fokusebene und Kantenerkennung. Jede dieser Funktionen wurde entwickelt, um die Genauigkeit und Geschwindigkeit des Inspektionsprozesses zu verbessern. Insgesamt ist Surfscan SP2 ein leistungsfähiges und zuverlässiges Masken- und Wafer-Inspektionsmodell für die Halbleiterherstellung. Es bietet branchenführende Geschwindigkeit und Auflösung für eine breite Palette von Bildanalyse und Inspektion Aufgaben, so dass es eine gute Wahl für Qualitätskontrolle und Produktionsoptimierung.
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