Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293807608 zu verkaufen
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ID: 293807608
Inspection system
Throughput: <37 nm
UV Laser
Modes:
Standard throughput
High sensitivity
Oblique illumination
Equipped with powder coat painted panel
PHOENIX Dual FIMS Vacuum wafer handler, 12"
Power inlet
Optical filter
XY Coordinates
Edge exclusion, 2 mm
IDM
4-Color light tower (Red, Yellow, Green, Blue)
XY Calibration wafer, 12"
Dryer
Operating system: Windows XP.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die speziell für die Herstellung von Wafern und Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche System ermöglicht es Herstellern, Masken und Wafer bei hohen Durchsatzraten kritisch zu überprüfen und mikroskopische Defekte bei der Herstellung von Wafern oder Geräten zu erkennen. KLA Surfscan SP2 verfügt über Lichtfeld- und Dunkelfeldbildtechnologien, die es ihm ermöglichen, selbst die kleinsten Fehler auf den Wafern zu erkennen. Diese Defekte können von Nadellöchern, Kratzern und Partikeln bis hin zu Vorsprüngen, Markierungen und Verzerrungen reichen. Darüber hinaus kann die Einheit andere Unregelmäßigkeiten an den Wafern wie Fremdmaterialansammlungen, Flecken und Bereiche von Vorätzschäden erkennen. Die Maschine enthält auch eine spezielle Bildanalyse-Funktion, die es Herstellern ermöglicht, die erkannten Fehler mit einer hohen Genauigkeit zu identifizieren und zu klassifizieren. TENCOR SURFSCAN SP 2 ist mit einer intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet, um den Bedienern die Verwaltung von Operationen zu erleichtern. Das Gerät verfügt über ein großes 21-Zoll-HD-Touchscreen-Panel, mit dem Benutzer die Inspektionsparameter einfach konfigurieren können. Die Kontaktpositionsgenauigkeit des Werkzeugs ist sehr gut, mit einer Auflösung von 0,5 μ m, so dass es geeignet ist, auch die kleinsten Formgrößen zu überprüfen. TENCOR Surfscan SP2 ist auch sehr zuverlässig, da es mit der neuesten Energiespartechnologie ausgestattet ist. Das Asset erreicht dies, indem es nach der Verwendung automatisch in einen Standby-Zustand heruntergefahren und dann nur bei Bedarf neu gestartet wird. Dies hilft Herstellern, die Energiekosten zu senken und verlängert auch die Lebensdauer des Modells. Die Ausrüstung ist auch für ein breites Anwendungsspektrum ausgelegt und entspricht den SEMI-Qualitätsstandards. Surfscan SP2 ist eine ideale Wahl für Hersteller, die ihre Wafer und Masken mit hoher Genauigkeit inspizieren und gleichzeitig den Energieverbrauch reduzieren möchten. Die hohe Leistung des Geräts macht es zu einer idealen Wahl für Hersteller, die eine zuverlässige und effiziente Maschine zur Inspektion ihrer Wafer und Masken suchen.
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