Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293814035 zu verkaufen

KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist ein Vollfeld optische kritische Dimension (CD) SEM basierte Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung. Es ist ein kompaktes und wartungsfreies System, das für die automatisierte Inspektion von Frontendmasken und Wafern entwickelt wurde. KLA Surfscan SP2 ist mit einer ausgeklügelten Bildverarbeitungseinheit ausgestattet, die selbst komplexeste Masken- und Waferstrukturen in hoher Qualität erzeugen kann. Diese Maschine besteht aus einem monochromierten Feldemissionsrasterelektronenmikroskop (FE-SEM), einer kryogenen Probenstufe und einer motorisierten XYZ-Stufe zur genauen Positionierung der Probe. Das FE-SEM arbeitet mit einer Auflösung von 0,2 nm und kann Strukturen bis zu 4 nm erkennen. Die integrierte automatisierte Mess- und Analysesoftware ermöglicht dem Anwender den Zugriff auf Informationen aus einzelnen Schichten, die bei der Beurteilung der Qualität der Proben helfen. Darüber hinaus bietet TENCOR SURFSCAN SP 2 eine präzise Steuerung des Strahlstroms und des Kühlwerkzeugs, um die Proben vor Beschädigungen zu schützen. Surfscan SP2 verfügt auch über eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer schnell und einfach die Inspektion einrichten und starten können, ohne auf das Handbuch verweisen zu müssen. Darüber hinaus bietet die Anlage Zuverlässigkeit und wiederholbare Leistung, um die Genauigkeit der Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet TENCOR Surfscan SP2 einen schnellen und zuverlässigen Prozess zur Inspektion der Proben. Mit der automatisierten Fokus-Feedback-Schleife kann das Modell seinen Fokus schnell anpassen und genaue Ergebnisse erzielen. Das Gerät verfügt über eine Vielzahl von Erweiterungen, darunter Fehlerüberprüfung, Datenexport, Überprüfung der Datenbankverwaltung und Prozesskontrolle. KLA SURFSCAN SP 2 ist ideal für eine breite Palette von Halbleiteranwendungen wie Maskeninspektion, Waferüberprüfung, Schaltungslayoutüberprüfung, Lithographiesimulation, Overlay-Analyse, Prozesssteuerung und Fehleranalyse. Es unterstützt verschiedene Technologien wie PDK, BiCMOS und DRAM und kann verwendet werden, um mehrere Schichten von Strukturen zu überprüfen. Das System ist in der Lage, AutoAdjust zu integrieren, ein leistungsstarkes regelbasiertes Tool, das für automatisierte Funktionsmessungen und Fehlerberichterstattung verwendet wird. Darüber hinaus kann es auch zur Fehlerklassifizierung und Wafermesstechnik eingesetzt werden. Insgesamt ist SURFSCAN SP 2 eine zuverlässige und effiziente Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die in der Lage ist, die komplexeste Analyse durchzuführen. Dank seiner fortschrittlichen Eigenschaften und Fähigkeiten ist es die ideale Wahl für alle Halbleiterindustrien.