Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9240763 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9240763
Wafergröße: 12"
Particle measurement system, 12"
Operating system: Windows XP SP3
Carrier:
Phx, SHINKO (Load port)
(8) User-configurable LEDs to display load port status
Load / Unload button for manual delivery hand-off
Cassette / Wafer mapping
Chamber:
Powder coat panels kit
Vacuum option: 200/300mm
Load port vacuum: 12" Dual FIMS
Hardware:
5-Color light tower (RBYGW)
Ethernet
E84 Enabled for OHT and AGV/RGV
GEM/SECS and HSMS
Handler secondary UI, Phoenix, SP2
Main computer:
Intel®Xeon™ CPU 3.20 GHz
Memory: 3.5 GB RAM
DVD- ROM
Mouse
Keyboard
Floppy, 3.5"
FEC Computer:
Intel®Pentium®4 CPU
512 MB RAM Memory
Applications:
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incidence illumination (High / Standard / Low)
Enhanced XY coordinates
Standard classification package
LPD-N Classification
LPD-ES Classification
High sensitivity inspect mode
High throughput inspect mode
Options:
Haze
IC / OEM Mfg surf quality recipe
Facilities:
Power: 208 VAC, 3 W-N
CDA: >28.3 Nl/min, >6.6791 kg/cm²
Vac: >28.317 l/min, >-700 mm Hg.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die verwendet wird, um unerwünschte Defekte an Masken und Wafern zu erkennen und zu beheben. KLA Surfscan SP2 verwendet optische, elektrische und mechanische Komponenten, um Fehler an einer Vielzahl von Wafertypen zu erkennen und zu korrigieren. Die optische Inspektion beinhaltet sowohl helle Feld- als auch Dunkelfeldbilder zur genauen Erkennung von Fehlern. Die elektrischen Merkmale verwenden kontaktlose und kontaktlose Methoden, um elektrische Eigenschaften wie Widerstand, Kapazität und Strom zu messen. Die mechanischen Eigenschaften ermöglichen es TENCOR SURFSCAN SP 2, die Richtung für präzise Bewegungen und Anpassungen zu ändern, während Sie den Wafer inspizieren. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 verfügt über integrierte Techniken wie Fokusvariation und Bildverarbeitung, um den Wafer zu inspizieren und mögliche Fehler zu erkennen und zu lokalisieren. Fokusvariation bietet eine dreidimensionale Ansicht des Wafers, so dass das System Submikron-Defekte genau erkennen kann. Das bildgebende Teilsystem verwendet eine genaue und hochauflösende CCD-Kamera, um Bilder des Wafers zur weiteren Analyse zu erfassen. KLA SURFSCAN SP 2 hat auch fortschrittliche Software, die verwendet wird, um die Daten von jeder Inspektion zu analysieren und die Ergebnisse in einem leicht lesbaren Format anzuzeigen. Die Software verfügt über eine Reihe von Tools, mit denen Benutzer die spezifischen Fehler auf dem Wafer filtern und identifizieren können. Das Gerät verfügt außerdem über eine integrierte Funktion zur automatischen Planung, mit der Sie regelmäßige Inspektionen für verschiedene Wafertypen und -läufe einrichten können. Darüber hinaus ist Surfscan SP2 mit Komfort und Sicherheit im Auge entworfen. Es ist mit einer automatisierten Maschine ausgestattet, die einfach einzurichten und zu bedienen ist. Das Tool ist sehr anpassbar, so dass Benutzer die Parameter entsprechend ihren spezifischen Anforderungen anpassen können. Die Anlage ist außerdem mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie einem Schlüsselschloss und einem Not-Aus-Schalter, um eine sichere Betriebsumgebung zu gewährleisten. Insgesamt ist TENCOR Surfscan SP2 ein vielseitiges Modell, das Wafer inspizieren und unerwünschte Fehler erkennen und beheben soll. Ausgestattet mit optischen, elektrischen und mechanischen Komponenten ist das Gerät in der Lage, Submikron-Defekte auf einer Vielzahl von Wafertypen genau zu erkennen. Die fortschrittliche Software ermöglicht es Benutzern, die Daten zu filtern und zu analysieren, um Fehler schnell zu erkennen. Mit seinen automatisierten Funktionen und Sicherheitsfunktionen bietet SURFSCAN SP 2 ein effizientes und sicheres Masken- und Wafer-Inspektionssystem.
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