Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9260809 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9260809
Inspection system, 12"
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 0235019-000 / Laser head, UV, 355 nm, 350 mW, T sesam mo
(1) / 0094103-001 / FRU, DC Module assembly, PDU, SP2
(1) / 0261763-000 / Module, data acquisition, USB, MINILAB Ribbon
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-ports
(1) / 0501328-000 / Front end controller kit
(1) / 0305125-000 / KIT, REV E Controller and cables, YASKAWA NXC100
(1) / 0259855-000 / FRU, L1A, L1B L1-L2 Assembly, EC, SP2
(1) / 0253452-002 / FRU, Attenuator assembly half-wave, EC, SP2
(1) / 0253457-000 / FRU, Fold mirror, 90°, incident, EC, SP2
(1) / 0333668-000 / PS With diode, UV Laser, J40 355 mW hybrid
(1) / 0253311-000 / Assembly, SERVO Mirror, SAPPHIRE, BSS, EC, SP2
(1) / 0216827-000 / PCB Assembly, GALIL M, configured, SP2
(2) / 0094104-000 / FRU, PCB Assembly, proc 3, INTRF 2, 8 x 512M, SP2
(2) / 0202919-002 / FRU, HD and Carrier, IDE 500GB configuration 1.0, SP
(2) / 0253456-000 / FRU, Mirror, Pick-Off, QC1, EC, SP2
(1) / 0023892-000 / Chuck, 8"/12", vacuum, SP1
(1) / 0123546-000 / Fan filter HI capacity, SP2
(1) / 0214551-001 / FRU, PMT Assembly, single, dark field, SP2
(1) / 0094100-000 / FRU, Assembly, fast laser shutter, SP2
(1) / 0214544-001 / FRU, Shutter assembly, laser, beam steering, SP2
(1) / 0253458-001 / FRU, Rotator assembly, half-wave, EC, SP2
(1) / 0253755-001 / FRU, BSC Assembly, NRML/OBL CHNL, EC, SP2
(1) / 0065575-000 / CBL, MTR DR Board to MSK CH Distribution board
(1) / 0128468-000 / Assembly, NODE, CPU, ISO port
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-Ports
2004 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine voll ausgestattete, automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung. Es kann eine Vielzahl von verschiedenen Arten von Maske und Wafer Inspektion durchführen, einschließlich Fehlerinspektion und Qualifikation. Das System ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen zu überprüfen, von der Matrize bis zum vollen Wafer. Es ist so konzipiert, dass es flexibel und skalierbar ist, sodass Benutzer das Gerät an ihre genauen Anforderungen anpassen können. KLA Surfscan SP2 nutzt KLA proprietäre Brightfield, Darkfield und Contrast Inspection Technologien, um das höchste Niveau der heute verfügbaren Fehlererkennung zu erreichen. Diese fortschrittliche Technologie ermöglicht es der Maschine, Fehler so klein wie 0.1um zu erkennen. Das Tool bietet eine Auswahl an verschiedenen Kontrastmodi, so dass es verschiedene Fehlertypen unterscheiden und schwach strukturierte Bereiche identifizieren kann. Der Vermögenswert arbeitet mit zwei CCDs; eine 5,6-Megapixel-Feldkamera und eine 1280x800-Megapixel-Waferkamera. Die Feldkamera wird verwendet, um die Maske zu inspizieren, während die Waferkamera verwendet wird, um den Wafer zu inspizieren. Die Kombination der beiden CCDs, zusammen mit TENCOR proprietären Inspektionsalgorithmen, ermöglicht es dem Modell, Fehler über den gesamten Wafer schnell und genau zu erkennen. TENCOR SURFSCAN SP 2 ist auch mit einer blauen Ausrichtungsausrüstung ausgestattet, die sicherstellt, dass Wafer und Maske während des Inspektionsprozesses genau ausgerichtet werden. Darüber hinaus verfügt das System über einstellbare Inspektionsparameter, so dass Benutzer die Inspektion an ihre spezifischen Bedürfnisse anpassen können. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 bietet auch bordeigene Datenerfassungsfunktionen. Auf diese Weise können Benutzer Inspektionsdaten zur weiteren Analyse erfassen und überprüfen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Hochgeschwindigkeitsbearbeitungsmaschine, die es dem Werkzeug ermöglicht, Daten mit bis zu 5x schneller als konkurrenzfähige Systeme zu verarbeiten. Surfscan SP2 ist eine fortschrittliche, automatisierte Masken- und Wafer-Inspektion, die leistungsstarke Funktionen für die Erkennung und Qualifizierung von Masken- und Waferdefekten bietet. Mit seiner 5,6-Megapixel-Feldkamera, einer 1280x800-Megapixel-Wafer-Kamera, einstellbaren Inspektionsparametern und bordeigenen Datenerfassungsfunktionen bietet es ein unvergleichliches Maß an Flexibilität und Leistung. TENCOR Surfscan SP2 ist das ideale Modell für die volumenstarke, leistungsstarke Fehlerinspektion.
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