Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9308728 zu verkaufen

KLA/TENCOR Surfscan SP2 Mask and Wafer Inspection Equipment ist eine leistungsstarke, kostengünstige Lösung zur Inspektion von Masken und Wafern im Halbleiterherstellungsprozess. Mit marktführenden Bilderfassungs- und Inspektionsalgorithmen sorgt KLA Surfscan SP2 für die Genauigkeit und Qualität Ihrer Produkte. Mit einer Reihe fortschrittlicher integrierter Tools unterstützt TENCOR SURFSCAN SP 2 Messungen, Ertragsanalysen, Layoutüberprüfungen und Fehleranalysen. Das System umfasst einen großen, hochauflösenden Flächensensor mit zwei Lichtquellen, eine verteilte Objektarchitektur, automatische Merkmalserkennung, vom Anwender erstellte Inspektionssysteme, Fehlerklassifizierung und intelligentes Fehlerdrucken. Die verteilte Objektarchitektur von KLA SURFSCAN SP 2 erleichtert die Konfiguration komplexer Einheitenparameter, die Verwaltung der Kommunikation mit zugehörigen Geräten und die Erweiterung der Maschinenfunktionen um Komponenten von Drittanbietern. Die automatische KE-Erkennung wird durch die integrierte Schablonen-Matching-Engine aktiviert, die kritische KEs identifizieren und anschließend Inspektionen auf korrekte KE-Platzierung, Orientierung, Starburst-Parameter und Strukturanalyse durchführen kann. Erfahrene anwendererstellte Inspektionssysteme bieten eine schnelle, konsistente und zuverlässige Prozessüberwachung. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 bietet zudem eine umfassende Fehlerklassifizierungs-Hierarchie mit hierarchischen statistischen Bibliotheken, die Fehler an nicht-intrinsischen Merkmalen wie abgeschiedenen Rückständen oder Partikeln mit den Quellfehlern stromaufwärts verknüpfen. Die automatisierten Funktionen zur Wafer-Zuordnung und Bildwiedergabe des Tools ermöglichen eine effiziente Inline- oder Post-Process-Analyse und die Isolierung von Interessenfehlern. Intelligenter Fehlerdruck ermöglicht es, kontrastreiche Fehlerbilder auf einer Vielzahl von Tintenstrahl- und Laserdruckermedien zu erhalten. Zusätzliche Funktionen wie Bildstabilisierung, automatische Kantenerkennung, Bildstapelung, intelligenter Zoom und Bildüberlagerung sorgen für erhöhte Asset-Funktionen und maximale Inspektionsgenauigkeit. Surfscan SP2 bietet auch Prozessmanagement-Reporting in einer Vielzahl von Umgebungen, darunter Windows, Linux, UNIX und Sun Solaris Betriebssysteme. Insgesamt ist SURFSCAN SP 2 Masken- und Wafer-Inspektionsmodell eine äußerst zuverlässige und kostengünstige Lösung für gemusterte Dünnschichtforschungsanwendungen. TENCOR Surfscan SP2 ist mit seinen fortschrittlichen integrierten Werkzeugen, den vom Anwender entwickelten Inspektionssystemen, der einwandfreien Bildgenauigkeit und der Inline- oder Post-Process-Analyse eine wirklich leistungsstarke Lösung für alle gemusterten Dünnschichtherstellungsprozesse.