Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9314791 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

ID: 9314791
Wafergröße: 12"
Inspection system, 12" Scan module Blower Processor: 2.2 GHz Operating system: Windows XP Oblique incident Edge cut: 2 mm STD Throughput Enhanced XY Co-ordinate Defect classification: Slipline, Scratch and LPD-N Haze normalization Haze analysis Optical filter Space filter: 20° Space filter: 40° Space filter rough film Options: Part number / Description 0088725-000 / Normal incident 0088727-000 / High sensitivity mode 0088727800 / High throughput mode 0088732-000 / GEM/SECS 0088733-000 / HSMS 0088731-000 / NFS Client 0088737-000 / E84 Automation support, 12" 0088738-000 / E87 Automation support, 12" 0088739-000 / E40/E94/E90 Automation support, 12" 0088748-000 / LPD-E/S Classification 0088749-000 / Grading / Sorting 0088740-000 / Printer J00012 / Printer rack - / BSIM - / Pato-light Wafer thickness: 0.725 mm, 8" 0.775 mm, 12" Sensitivity: High sensitivity: Oblique: Wide: 37 nm Narrow: 60 nm Normal: Wide: 61 nm Narrow: 78 nm STD Sensitivity: Oblique: Wide: 42 nm Narrow: 70 nm Normal: Wide: 68 nm Narrow: 83 nm High throughput: Oblique: Wide: 47 nm Narrow: 80 nm Normal: Wide: 72 nm Narrow: 93 nm Throughput: High sensitivity mode: Edge handling dual FIMS: 15 WPH Vacuum chuck dual FIMS/Open: 24 WPH Vacuum chuck 8": 40 WPH Edge handling 4 x 8": 32 WPH STD Mode: Edge handling Dual FIMS: 30 WPH Vacuum chuck Dual FIMS/Open: 49 WPH Vacuum chuck, 8": 68 WPH Edge handling 4 x 8": 55 WPH High throughput mode: Edge handling dual FIMS: 58 WPH Vacuum chuck dual FIMS/Open: 75 WPH Vacuum chuck, 8": 90 WPH Edge handling 4 x 8": 80 WPH Lighting smooth DPSS Laser : 350 mW, 355 nm Vacuum: Scan module Pressure: -24 ~ -30 Hg Flow: 1 SCFM FOUP Opener (Dual FIMS): Pressure: -24 to -24 Hg Flow: 1 SCFM Compressed air: Scan module Pressure: 85-105 psi Flow: 4 SCFM Condensation: -29° Edge end effecter: Pressure: 90~120 psi Wafer handling: Edge handling Vacuum chuck Data output: High resolution TFT color flat panel display USB Parallel port Serial port DVD+RW Drive Floppy Disk Drive (FDD), 3.5" Network connector: 10/100 Base-T ISDN Connector Voltage: AC 200 V±10% Frequency: 50-60 Hz ± 5% Power supply: 200 V, Single phase, 2.88 kVA.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine hochentwickelte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die verwendet wird, um Qualität und Konsistenz bei der Herstellung von Halbleiterchips zu gewährleisten. Das System verwendet eine helle Laserbeleuchtungsquelle mit einer hochauflösenden Bilddetektionseinheit, um Bilder von Merkmalen auf Wafern, Masken und Retikeln in Auflösungsstufen zu erfassen, die in früheren Systemen nicht sichtbar sind. KLA Surfscan SP2 misst Toleranzen von 0,5 Mikrometern auf den komplexesten Retikeln, um höchste Genauigkeit und Präzision zu gewährleisten, und es kann Funktionsgrößen überprüfen, die über die von herkömmlichen optischen Inspektionssystemen hinausgehen. Die Maschine verwendet eine patentierte „Laser-Plus-Shutter“ -Technik, um innerhalb eines gewünschten Sichtfelds klare Bilder der kleinsten Merkmale auf der Maske oder dem Wafer zu erhalten, und ihr dynamisches Linsenwerkzeug ermöglicht es dem Benutzer, die Auflösung bis zu x128 zu vergrößern. Darüber hinaus ist die fortschrittliche hochempfindliche Bildverarbeitungstechnologie des Asset in der Lage, hochgenaue Bilder aller Feldgrößen bis zu 55 Dezibel zu erhalten. TENCOR SURFSCAN SP 2 ist mit einfacher Bedienung konzipiert, mit benutzerfreundlicher Oberfläche und intuitiven grafischen Bedienelementen, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglichen. Es ist mit einem Feedback (FB) -Algorithmus für eine schnelle und genaue Fehlerisolierung und einer patentierten Fehlerisolierungstechnik für schwierige Fehler, wie z. B. herkömmliche „Durchdrucke“ und „Kratzer“, ausgestattet. Zur Benutzerfreundlichkeit ist das Modell mit einer Reihe von Software-Tools mit der Fähigkeit, Berichte von Scan-Daten in verschiedenen Dateiformaten, einschließlich txt, csv, und html-Dateien zu generieren gebündelt. KLA SURFSCAN SP 2 ist eine kompakte, komplett automatisierte Ausrüstung, die vor Ort aufrüstbar ist und eine minimale Serviceunterstützung erfordert, was es zu einer idealen Inspektionswahl für kritische Maskierungs- und Waferinspektionsbedürfnisse macht. Es wurde für qualitätskritische, serienreiche Umgebungen entwickelt, und seine effiziente Kombination aus Software und Hardware bietet höchste Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Geschwindigkeit.
Es liegen noch keine Bewertungen vor