Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9314791 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9314791
Wafergröße: 12"
Inspection system, 12"
Scan module
Blower
Processor: 2.2 GHz
Operating system: Windows XP
Oblique incident
Edge cut: 2 mm
STD Throughput
Enhanced XY Co-ordinate
Defect classification: Slipline, Scratch and LPD-N
Haze normalization
Haze analysis
Optical filter
Space filter: 20°
Space filter: 40°
Space filter rough film
Options:
Part number / Description
0088725-000 / Normal incident
0088727-000 / High sensitivity mode
0088727800 / High throughput mode
0088732-000 / GEM/SECS
0088733-000 / HSMS
0088731-000 / NFS Client
0088737-000 / E84 Automation support, 12"
0088738-000 / E87 Automation support, 12"
0088739-000 / E40/E94/E90 Automation support, 12"
0088748-000 / LPD-E/S Classification
0088749-000 / Grading / Sorting
0088740-000 / Printer
J00012 / Printer rack
- / BSIM
- / Pato-light
Wafer thickness:
0.725 mm, 8"
0.775 mm, 12"
Sensitivity:
High sensitivity:
Oblique:
Wide: 37 nm
Narrow: 60 nm
Normal:
Wide: 61 nm
Narrow: 78 nm
STD Sensitivity:
Oblique:
Wide: 42 nm
Narrow: 70 nm
Normal:
Wide: 68 nm
Narrow: 83 nm
High throughput:
Oblique:
Wide: 47 nm
Narrow: 80 nm
Normal:
Wide: 72 nm
Narrow: 93 nm
Throughput:
High sensitivity mode:
Edge handling dual FIMS: 15 WPH
Vacuum chuck dual FIMS/Open: 24 WPH
Vacuum chuck 8": 40 WPH
Edge handling 4 x 8": 32 WPH
STD Mode:
Edge handling Dual FIMS: 30 WPH
Vacuum chuck Dual FIMS/Open: 49 WPH
Vacuum chuck, 8": 68 WPH
Edge handling 4 x 8": 55 WPH
High throughput mode:
Edge handling dual FIMS: 58 WPH
Vacuum chuck dual FIMS/Open: 75 WPH
Vacuum chuck, 8": 90 WPH
Edge handling 4 x 8": 80 WPH
Lighting smooth
DPSS Laser : 350 mW, 355 nm
Vacuum:
Scan module
Pressure: -24 ~ -30 Hg
Flow: 1 SCFM
FOUP Opener (Dual FIMS):
Pressure: -24 to -24 Hg
Flow: 1 SCFM
Compressed air:
Scan module
Pressure: 85-105 psi
Flow: 4 SCFM
Condensation: -29°
Edge end effecter:
Pressure: 90~120 psi
Wafer handling:
Edge handling
Vacuum chuck
Data output:
High resolution TFT color flat panel display
USB
Parallel port
Serial port
DVD+RW Drive
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Network connector: 10/100 Base-T
ISDN Connector
Voltage: AC 200 V±10%
Frequency: 50-60 Hz ± 5%
Power supply: 200 V, Single phase, 2.88 kVA.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine hochentwickelte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die verwendet wird, um Qualität und Konsistenz bei der Herstellung von Halbleiterchips zu gewährleisten. Das System verwendet eine helle Laserbeleuchtungsquelle mit einer hochauflösenden Bilddetektionseinheit, um Bilder von Merkmalen auf Wafern, Masken und Retikeln in Auflösungsstufen zu erfassen, die in früheren Systemen nicht sichtbar sind. KLA Surfscan SP2 misst Toleranzen von 0,5 Mikrometern auf den komplexesten Retikeln, um höchste Genauigkeit und Präzision zu gewährleisten, und es kann Funktionsgrößen überprüfen, die über die von herkömmlichen optischen Inspektionssystemen hinausgehen. Die Maschine verwendet eine patentierte „Laser-Plus-Shutter“ -Technik, um innerhalb eines gewünschten Sichtfelds klare Bilder der kleinsten Merkmale auf der Maske oder dem Wafer zu erhalten, und ihr dynamisches Linsenwerkzeug ermöglicht es dem Benutzer, die Auflösung bis zu x128 zu vergrößern. Darüber hinaus ist die fortschrittliche hochempfindliche Bildverarbeitungstechnologie des Asset in der Lage, hochgenaue Bilder aller Feldgrößen bis zu 55 Dezibel zu erhalten. TENCOR SURFSCAN SP 2 ist mit einfacher Bedienung konzipiert, mit benutzerfreundlicher Oberfläche und intuitiven grafischen Bedienelementen, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglichen. Es ist mit einem Feedback (FB) -Algorithmus für eine schnelle und genaue Fehlerisolierung und einer patentierten Fehlerisolierungstechnik für schwierige Fehler, wie z. B. herkömmliche „Durchdrucke“ und „Kratzer“, ausgestattet. Zur Benutzerfreundlichkeit ist das Modell mit einer Reihe von Software-Tools mit der Fähigkeit, Berichte von Scan-Daten in verschiedenen Dateiformaten, einschließlich txt, csv, und html-Dateien zu generieren gebündelt. KLA SURFSCAN SP 2 ist eine kompakte, komplett automatisierte Ausrüstung, die vor Ort aufrüstbar ist und eine minimale Serviceunterstützung erfordert, was es zu einer idealen Inspektionswahl für kritische Maskierungs- und Waferinspektionsbedürfnisse macht. Es wurde für qualitätskritische, serienreiche Umgebungen entwickelt, und seine effiziente Kombination aus Software und Hardware bietet höchste Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Geschwindigkeit.
Es liegen noch keine Bewertungen vor