Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9398740 zu verkaufen
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ID: 9398740
Weinlese: 2011
Inspection system
Semi notch, 12"
Carrier:
(3) Load ports:
Phx
SHINKO
8-Configurable LED to display load ports
Load/unload button: Manual
Wafer cassette mapping: FOUP, 12"
Empty slots and cross slotted wafer
Vacuum load port: FIMS, 12"
Light tower (RBYGW)
Facilities:
CDA: > 28.3 NL/min, > 6.6791 kg/cm2
VAC: > 28.317 l/min, > -700 mm Hg
Edge exclusion, 2 mm
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incidence illumination (Standard / Low)
XY Co-ordinates
IDM SP2
Standard classification package
LPD-N Classification
LPD-ES Classification
Grading and sorting
Spatial filter: 20°
Spatial filter: 40°
Spatial filter (Rough films)
Spatial filter (Back)
High sensitivity inspect mode
High throughput inspect mode
Haze
Haze normalization
Haze analysis
IC/OEM
Ethernet:
NFS Client
E84 enabled for OHT and AGV/RGV
E87 (Based on E39)
GEM/SECS and HSMS
E40 / E94 / E90 / E116
Main computer:
Intel Xeon CPU 3.20GHz
RAM: 3.5 GB
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
FEC Computer:
CPU: Intel Pentium 4
RAM: 512 MB
Operating system: Windows XP SP3
Power supply: 208 VAC, 3 W-N
2011 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 ist eine fortschrittlichste Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die entwickelt wurde, um die höchsten Leistungsstufen bei der automatischen Netzlisten-Mustererkennung und Fehlermanagement-Anwendungen bereitzustellen. Es bietet eine umfassende Kontrolle der Oberflächenbedingungen und der Fehlererkennung, mit der Fähigkeit, das allgemeine Vorhandensein von Wafern zu überwachen und subtile Veränderungen im Profil zu erkennen, einschließlich des Vorhandenseins und der Eigenschaften von Mikrolithen und Partikelinterferenzen. Durch die Kombination von fortschrittlichen optischen Systemen und innovativer Bildverarbeitungstechnologie ermöglicht KLA Surfscan SP2 Benutzern, Muster zu überprüfen, Fehler zu erkennen, Ungleichförmigkeiten zu identifizieren und Anomalien zu klassifizieren, um Oberflächenbedingungen zu charakterisieren. TENCOR SURFSCAN SP 2 ist ein Inspektionssystem, das speziell entwickelt wurde, um anspruchsvolle industrielle Halbleiteranwendungen zu unterstützen, da es einen hohen Durchsatz unterstützt und eine schnelle, genaue Analyse von einzelnen und mehreren Wafern bietet. Es verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen wie mehrstufige Bildgebung, Binarisierung, Formanalyse und die Möglichkeit, benutzerdefinierte optische Filter für verbesserte Bildklarheit und Zeichenerkennung auszuwählen. Diese Filter arbeiten, um sehr kleine Muster auf dem Wafer zu erkennen, Scannen auf Fehler und Unregelmäßigkeiten, und sind für veränderte Umgebungen einstellbar. Das Gerät bietet auch erweiterte Qualitätskontrollfunktionen auf höchster Ebene mit der Fähigkeit, alle Oberflächenparameter selektiv zu messen, zu erkennen und zu korrigieren, um eine ordnungsgemäße Abscheidung, Maskierung und Widerstandsprofil des Wafers sicherzustellen. Die Maschine kann Wafer scannen und inspizieren, die aus einer Vielzahl von Materialien bestehen, einschließlich Glas, Aluminium, Silizium und Quarz. Sein integriertes 5-Achsen-Bewegungssteuerungswerkzeug ist in der Lage, die Probe auf der Bühne genau zu positionieren und direkt an das Gerät zu scannen, um Ausrichtungsfehler und die Möglichkeit menschlicher Fehler zu reduzieren, die zu Material- oder Produktfehlern führen können. Das Asset bietet auch automatisches Wafer-Mapping, das detaillierte Informationen zu jedem Wafer speichert und verschiedene Analysestufen mit integriertem Speicher und Puffern bietet, mit denen andere Anwendungen die Daten schnell abrufen können. Darüber hinaus sind die automatisierten Fehlererkennungsalgorithmen des Modells in der Lage, Fehler zu erkennen, die für das menschliche Auge zu klein sind, um sie zu sehen, was es zu einem effizienten und leistungsstarken Werkzeug für die schnelle Identifizierung und Beseitigung von Fehlern aus einem Produkt vor dem Markteintritt macht. So können Hersteller ihre Produktionsprozesse optimieren und sicherstellen, dass ihre Produkte den hohen Qualitätsstandards entsprechen. Darüber hinaus bieten seine benutzerfreundliche Oberfläche und intuitive Software eine vollständige Kontrolle über Inspektionsfunktionen, um Inspektionsdaten schnell zu überprüfen, zu analysieren und zu korrigieren. Abschließend ist TENCOR Surfscan SP2 eine fortschrittliche und umfassende Ausrüstung für die Masken- und Waferinspektion und das Defektmanagement. Es bietet schnelles Scannen, genaue Analyse und umfassende Kontrolle der Oberflächenbedingungen, so dass Benutzer Fehler von Produkten schnell und effizient erkennen und entfernen können.
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