Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293594322 zu verkaufen
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ID: 293594322
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
Wafer surface inspection system, 12"
Heat exhaust blower
(2) Oblique incidents
(2) ST Modes
(2) Edge exclusion area: 2 mm
Handling options: (2) Vacuum chuck triple FIMS handlers (3 x 300 mm)
(2) Dual scans: Normal and oblique
(2) SURF monitor
(2) Fluorescence optical filter
(2) Spatial filters: 20°, 40°
(2) Environmental optics kits (COE)
(2) Cool white panels
2014 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3 ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die für die Erkennung und Klassifizierung von hochauflösenden Hochgeschwindigkeits-Halbleiterdefekten entwickelt wurde. Das System basiert auf der patentierten reflektierenden Abbildungstechnologie der KLA und ist auf die hohen Anforderungen der Halbleiterherstellung zugeschnitten. Die leistungsstarken Silizium-Wafer- und Flachbildschirm-Inspektionsmöglichkeiten des SP3 ermöglichen es Wafer-Steppern und Mustergeneratoren, Produkte von ultimativer Qualität und Zuverlässigkeit zu produzieren. Das Gerät bietet eine fortschrittliche Inspektion von Masken und Wafern mit beispielloser Empfindlichkeit, Genauigkeit und Flexibilität. KLA Surfscan SP3 kombiniert leistungsstarke Funktionen zur Bildaufnahme, Bildverarbeitung und Fehlerklassifizierung. Die Maschine verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Bildaufnahmetechniken wie Quad und Reduktionsvariationen, die eine hohe Fehlerauflösung und erweiterte Oberflächenbildgebung ermöglichen. TENCOR Surfscan SP3 verfügt auch über hochauflösende Optik, hohe Pixeldichte und keine toten Zonen dank der einheitlichen Pixelposition. Surfscan SP3 verfügt auch über eine Reihe leistungsfähiger Erkennungsalgorithmen und interaktive Analysetools. Die fortschrittlichen Algorithmen ermöglichen eine präzise Analyse, während das interaktive Toolset es Benutzern ermöglicht, Inspektionsergebnisse schnell zu ändern, anzupassen und zu überprüfen. KLA/TENCOR Surfscan SP3 unterstützt mehrere Benutzerkonfigurationen, einschließlich Einzelbenutzer-Setups und größere Multi-User-Netzwerke. Das Werkzeug kann auch mit anderen Systemen für mehr Effizienz und Produktivität integriert werden. KLA Surfscan SP3 ist mit einer Reihe fortschrittlicher Wafer-Steuerungsfunktionen ausgestattet, die darüber hinaus High-End-Leistung ermöglichen. Das Asset umfasst eine präzise Stufe und die Übersetzung der Halbretikelanpassung für präzise Messungen und Ausrichtung sowie einen fortgeschrittenen Batch-Fortschrittsbericht zur verbesserten Kontrolle der Qualitätssicherung. Das Modell beinhaltet auch eine automatische Musteranpassung für die Hochgeschwindigkeitswiederholbarkeit, eine automatische Verformungskorrektur für verbesserte Wafer-Ebenheit und eine dedizierte Laserquelle für überlegene Wiederholbarkeit und Kosteneffizienz. Schließlich verfügt TENCOR Surfscan SP3 über eine webbasierte Benutzeroberfläche, mit der Benutzer ihre Inspektionsreihenfolge und die Ergebnisse leicht steuern können. Die GUI bietet Benutzern außerdem einen beispiellosen Zugriff auf Ausstattungsfunktionen, Einstellungen und Berichte. Die robuste Reporting-Suite ermöglicht den Anwendern den schnellen Zugriff auf Informationen und Einblicke in die Systemleistung und macht Surfscan SP3 zu einem leistungsstarken und effizienten Werkzeug für die Masken- und Waferinspektion.
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