Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293619782 zu verkaufen

KLA/TENCOR Surfscan SP3 ist eine erstklassige automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage. Es soll Fehlererkennungszeiten reduzieren und in den Herstellungsprozess integriert werden, um zu verhindern, dass Defekte in die Produktion geschickt werden. Das System ist mit einer Weitwinkel-Hochauflösungskamera ausgestattet, die eine Vollfeldansicht der Maske oder des Wafers ermöglicht. Es kombiniert mit einem automatisierten High-Speed-Stepper, um jeden Bereich des Werkstücks genau zu scannen. Die Kamera nimmt mehrere Bilder von jedem Bereich auf, analysiert sie auf Fehler und verfolgt die Ergebnisse in der Datenbank der Einheit. Die Software-Algorithmen vergleichen mit bekannten Fehlern und liefern einen Echtzeit-Prüfbericht. Die SP3-Maschine verfügt über eine patentierte Strahlinspektionstechnologie, mit der Nanodefekte bis zu 15 Nanometer erkannt werden können. Diese Technologie vergrößert das Bild der Maske oder des Wafers, um eine detailliertere Inspektion zu ermöglichen und die Genauigkeit der Ergebnisse zu erhöhen. Das Tool bietet auch flexible Fehlerklassifizierungseinstellungen, so dass der Benutzer eigene Fehlerklassifizierungskriterien wie Fehlergröße, Orientierung und die Kombination verschiedener Fehlerarten einrichten kann. Das Asset ist mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche ausgestattet, die einen schnellen Zugriff auf die Softwareeinstellungen ermöglicht, sodass der Benutzer die Einstellungen nach Bedarf schnell anpassen kann. Es bietet auch automatische Kalibrierung und Kalibrierung Überprüfung, um die Inspektionszeit zu reduzieren und die Genauigkeit zu gewährleisten. Das Modell entspricht verschiedenen Protokollen wie EUV, OPC, IR/NIR und SARBD. KLA Surfscan SP3 Ausrüstung ist entworfen, um verschiedene Industriestandards wie SEMI, ITRS und EUV zu erfüllen, so dass es für die Produktion von Halbleiterbauelementen und optoelektronischen Komponenten geeignet ist. Das System ist wartungsfreundlich und ermöglicht eine schnelle Wartung und Reparatur, um die Produktion reibungslos zu halten. Das Gerät wird von erfahrenen technischen Support-Mitarbeitern unterstützt und kann bei Bedarf in Echtzeit unterstützt werden.