Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293650551 zu verkaufen

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ID: 293650551
Inspection system, parts machine.
KLA/TENCOR Surfscan SP3 ist eine automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage. Es bietet schnell skalierbare Produktionskapazitäten mit kostengünstigen und leistungsstarken Optionen. KLA Surfscan SP3 wurde entwickelt, um alle Aspekte der Masken- und Waferinspektion zu optimieren, von der fortschrittlichen Fehlerüberprüfung bis hin zum umfassenden Datenmanagement. Das System verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die eine zuverlässige und konsistente Inspektion in Halbleiterfertigungsanlagen ermöglichen. TENCOR Surfscan SP3 bietet fortschrittliche Bildgebungstechnologie durch eine Vielzahl von Optiken, so dass das Gerät eine breite Palette von Partikeln, Defekten und anderen Details bis hin zu sehr kleinen Größen erkennen kann. Die Maschine umfasst auch eine Reihe von wiederholbaren und anpassbaren optischen Modulen, die es Anwendern ermöglichen, das Werkzeug an die Anforderungen ihrer jeweiligen Anwendung anzupassen. Das Asset verwendet automatisierte Bildanalyse-Algorithmen, um die Genauigkeit zu maximieren und menschliche Voreingenommenheit oder Fehler aus dem Inspektionsprozess zu beseitigen. Dies gewährleistet konsistente, unvoreingenommene Ergebnisse und minimiert die Notwendigkeit einer manuellen Überprüfung. Neben fortschrittlicher Optik verfügt Surfscan SP3 auch über mehrere Module für Datenmanagement, Prozesssteuerung und Mustermanagement. Das Modul Datenerfassung des Modells ermöglicht die Organisation und den Abruf von Bibliotheksdaten zur automatisierten Überprüfung und Analyse sowie zur detaillierten Kamerakalibrierung und Überprüfung. Das Modul Koordinaten-Datenbank gewährleistet genaue Messungen über die Gesamtheit eines Wafers, indem Layout- und Arbeitsplatzinformationen verfolgt werden. Schließlich macht es das Sample Management Modul von KLA/TENCOR Surfscan SP3 einfach, Daten über mehrere Benutzer und mehrere Geräte hinweg zu verfolgen und zu verwalten. Die Ausrüstung verfügt auch über mehrere fortschrittliche Algorithmen, um die höchstmögliche Genauigkeit und Zuverlässigkeit in den Inspektionsergebnissen zu gewährleisten. Beispielsweise ermöglicht der Algorithmus Maskengeometrie und Kantenerkennung die Erkennung von Variationen zwischen mehreren Bildern. Der Verifikationsalgorithmus des Sub-Layouts ist eine einzigartige Funktion, die potenzielle Probleme mit der Ausrichtung und Positionierung auf dem Chip erkennt. Der LED-Merkmalserkennungsalgorithmus kann bei der Suche nach kritischen Fehlern, die durch normale Inspektionsmethoden schwer zu erkennen sein können, weiter helfen. KLA Surfscan SP3 ist ein unverzichtbares Werkzeug für die Qualitätskontrolle in einer Halbleiterherstellung. Mit seiner hochgenauen Bildgebung, dem automatisierten Datenmanagement und leistungsstarken Algorithmen ist das System für die schnelllebige Umgebung der Halbleiterherstellung konzipiert. Es ist eine ideale Wahl für jede Halbleiterproduktionsanlage, die ihre Qualitätskontroll- und Inspektionsmöglichkeiten verbessern möchte.
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