Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP3+ #293776121 zu verkaufen
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ID: 293776121
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
Inspection system, 12"
PHOENIX 2.0 TFIMS Handler
(3) SHINKO Load ports
KAWASAKI NX500 Robot controller
Illumination: Oblique, Normal
Purge module
Interlock board
LON Node
Galil controller
(2) BSS Module
IMC Server rack
IMC Computer
IMC Monitor
IMC Data cable
Stage
Image computer
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2014 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur automatisierten Inspektion von Halbleiterschaltungen. Das System integriert fortschrittliche optische Messtechnik, Fehlererkennung und Fehlerklassifizierung in seinen automatisierten Masken- und Waferinspektions-Workflow. Der Prozess der optischen Fehlerüberprüfung verwendet mehrere bildgebende Techniken, einschließlich Lasermikroskopie, Laserstreuung und chemische Ätzung, in Kombination mit fortschrittlichen automatisierten Algorithmus-Techniken, um Fehler genau zu identifizieren und richtig zu klassifizieren. Das Gerät verfügt über eine hohe Kapazität, so dass es bis zu 40.000 Wafer sterben pro Stunde zu inspizieren. Darüber hinaus bietet die Maschine ein umfassendes Angebot an Bildüberprüfungs- und Klassifizierungsfunktionen. Diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, hochauflösende Bilder von Fehlern zu überprüfen und anhand von Größe, Form, Standort und anderen Merkmalen zu klassifizieren. So können Benutzer Fehler schnell identifizieren und festlegen, wie sie behoben werden sollen. Ein integrierter Defektklassifizierungs-Motor ist ebenfalls enthalten, mit dem Bediener Fehlerklassen automatisch zuordnen können. Das Tool basiert auf einer leistungsfähigen FPGA-Plattform und ist kompatibel mit verschiedenen Defektdatenbanken nach Branchenstandard. Es verfügt über eine große Auswahl an erweiterten Funktionen, mit denen Benutzer den Inspektionsprozess an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Das Asset soll Fehlalarme reduzieren und rechtzeitig genaue Ergebnisse liefern. Aus Sicherheitssicht ist das Modell KLA Surfscan SP3 so konzipiert, dass es den neuesten Sicherheitsvorschriften, einschließlich der RoHS- und WEEE-Richtlinien der Europäischen Union, entspricht. Die Ausrüstung wurde für die Einhaltung der geltenden Sicherheitsvorschriften zertifiziert und wird durch eine vollständige, siebenjährige Produktgarantie unterstützt. Insgesamt ist TENCOR Surfscan SP3 ein fortschrittliches Masken- und Waferinspektionssystem, das optische Messtechnik, Fehlererkennung und Fehlerklassifizierung in einer automatisierten Hochleistungsplattform kombiniert. Mit seinem umfassenden Leistungsspektrum kann das Gerät schnell und präzise Fehler identifizieren und für die effizientesten Reparatur- und Vermeidungsprozesse klassifizieren.
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