Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293806349 zu verkaufen

KLA / TENCOR Surfscan SP3
ID: 293806349
Wafer surface inspection system.
KLA/TENCOR Surfscan SP3 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Es ist ein hochentwickeltes Werkzeug, das die Erkennung von Musterdefekten auf Pixelebene ermöglicht, mit einer Genauigkeitsrate, die herkömmliche Inspektionstechniken übertrifft. Die primäre Technologie von KLA Surfscan SP3 ist die Kontakt- und Näherungsbildgebung. Bei der Kontaktabbildung wird ein mechanisch abgetasteter Scanner in Form eines an der Systemwand angebrachten tentakelartigen optischen Arms verwendet. Dieser Arm kann sich physikalisch über den Wafer bewegen und im Detail abbilden. Andererseits arbeitet die Näherungsabbildung durch Messung des elektrischen Feldes, das von den Schaltungsmustern auf den Wafern emittiert wird. Dieses Verfahren ist besonders nützlich bei der Inspektion großer Wafer mit hohen Musterdichten. Die integrierten Algorithmen des Geräts ermöglichen es, Wafer und Masken mit hoher Geschwindigkeit zu überprüfen. Die aufgenommenen Bilder werden in die integrierte Fehlererkennungssoftware von TENCOR Surfscan SP3 eingespeist, die fortschrittliche Algorithmen verwendet, um Fehler genauer und schneller als herkömmliche Inspektionstechniken zu identifizieren. Darüber hinaus verfügt Surfscan SP3 über eine umfangreiche Reihe von Funktionen, die auf verbesserte Benutzerfreundlichkeit ausgelegt sind. Dazu gehört eine benutzerfreundliche, intuitive grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Navigation und den Zugriff auf eine breite Palette von Inspektionsoptionen und Waferdaten ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über eine große Bibliothek mit vordefinierten Rezepten für häufig überprüfte Wafertypen, die in Sekunden geladen und eingestellt werden können, was die Effizienz erhöht und die Ermüdung des Bedieners verringert. KLA/TENCOR Surfscan SP3 ist ein hochentwickeltes, zuverlässiges und einfach zu bedienendes Inspektionswerkzeug. Es bietet unglaubliche Geschwindigkeit und Genauigkeit und bietet gleichzeitig ein benutzerfreundliches Erlebnis. Auf diese Weise können Fachleute der Halbleiterherstellung Wafer und Masken schnell und zuverlässig genau überprüfen und die Effizienz des Herstellungsprozesses drastisch verbessern, während sie Fehler erkennen, die sonst unbemerkt bleiben könnten.
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