Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9383537 zu verkaufen

KLA/TENCOR Surfscan SP3 ist eine automatisierte Wafer- und Maskeninspektionsanlage, die den Durchsatz des gesamten Halbleiterherstellungsprozesses erhöht. Das System bietet erweiterte Funktionen, um den Waferdurchsatz zu maximieren, Ertragsverluste zu minimieren und beispiellose Genauigkeit und Präzision zu bieten. KLA Surfscan SP3 nutzt adaptive Intrafield Autofokus und High-Definition-Bildaufnahmetechnologie, um eine beispiellose Genauigkeit und Wiederholbarkeit für den Bereich-zu-Rand-Scan zu erreichen. Unter Verwendung von High-End-Optik und einer motorisierten Bühne kann TENCOR Surfscan SP3 kontinuierlich mehrere Bilder pro Sichtfeld über die gesamte Maske oder Wafer aufnehmen. Mit proprietären Subpixel-Fokussierungsalgorithmen kann das Gerät leicht zwischen mehreren Sichtfeldern wechseln, ohne jemals neu fokussieren zu müssen. Die Scan-Fähigkeiten werden weiter genutzt, um eine schnelle und genaue Fehlererkennung und -klassifizierung mit der Hybrid Reconfirmation-Funktion der Maschine zu ermöglichen. Zusätzlich zu den erweiterten Bildgebungs- und Scanfunktionen ermöglicht die mehrstufige Kantenüberprüfung von Surfscan SP3 eine detaillierte Kantenerkennung und -messung. Durch die Analyse mehrerer Bilder passt das Werkzeug Muster für eine erhöhte Genauigkeit bei der Erkennung fehlender Resistmuster oder Waferüberlagerungen an. KLA/TENCOR Surfscan SP3 reduziert mit seiner hochauflösenden Positionierung und der Markendetektion das Fehlerpotenzial bei der kritischen Größenmessung. Diese Funktion verwendet eine Penta Prism Tabelle, um den Wafer präzise und präzise von links nach rechts und oben nach unten zu bewegen, was eine genaue Wafer-zu-Wafer-Registrierung und Scannen ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht das intelligente Defect Mapping von KLA Surfscan SP3 einen erhöhten Waferdurchsatz, da es Fehler schnell unterscheiden und klassifizieren kann. Aufgrund der fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten ist TENCOR Surfscan SP3 das erste Gut seiner Art, das eine vollständige Fehlererkennungsfähigkeit bietet, vom Bereich-zu-Rand-Scannen bis zur Größendiskriminierung. Mit einem solchen innovativen und zuverlässigen Modell können Halbleiterhersteller die Prozessvariabilität leicht minimieren, Durchsatzengpässe reduzieren und Kosten sparen.