Gebraucht KLA / TENCOR TeraScan 586 #9025479 zu verkaufen

KLA/TENCOR TeraScan 586 ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die darauf ausgelegt ist, Anomalien wie Verunreinigungen, Partikel und Kristallgitterfehler schnell zu erkennen und zu charakterisieren. Dieses System bietet eine überlegene räumliche Auflösung und Empfindlichkeit, die eine bessere Risikobewertung und Fehlercharakterisierung als andere Werkzeuge ermöglicht. KLA TeraScan 586 ist ein hochauflösender Sensor, der die 3D-topographische Bildgebung erleichtert und es dem Bediener ermöglicht, kleine Defekte mit bis zu 1000x höherer Empfindlichkeit als typische Rasterelektronenmikroskope oder optische Mikroskope zu erkennen. Der hochauflösende Sensor liefert problemlos analysierbare und quantifizierbare Fehlerbilder. TENCOR TeraScan 586 ist mit einem Wafer-zu-Wafer-Kantendetektor ausgestattet, der es ermöglicht, Abmessungen, Ebenheit und Höhe des Wafers in Echtzeit genau zu messen. Die einzigartige Fähigkeit des Instruments, Oberflächen- (epi) und Unterflächendefekte (SPM/AFM) zu erkennen und zu charakterisieren, gewährleistet eine vollständige Waferdeckung. Das Gerät verfügt über eine intuitive und benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche, mit der Bediener sowohl die Vorder- als auch die Rückseite von Wafern oder Masken schnell überprüfen können. Die QuickMap-Fähigkeit von TeraScan 586 führt schnell eine umfassende Prozesscharakterisierung durch und überprüft die Mustertreue über ein großes Sichtfeld für eine schnelle Auswertung des 1000fachen Vergrößerungsbereichs. Darüber hinaus umfasst die Maschine ein AFM-Modul mit grafischen Werkzeugen zur Analyse und Anzeige von Daten. Mit dieser Funktion können Anwender Oberflächenfehler wie isolierte Gruben, Kratzer und Nanopartikel leichter erkennen und charakterisieren. Darüber hinaus erkennt KLA/TENCOR TeraScan 586 automatisch Grenzfehlstellungen und Aberrationen, die durch thermomechanische Beanspruchungen oder Prozessvariationen verursacht werden. KLA TeraScan 586 umfasst einstellbare Umgebungsbedingungen und modernste Optik, um genaue Messungen unabhängig von der Anwendung zu gewährleisten. Darüber hinaus kommt es mit einer Software-gesteuerten Autofokus-Bühne, die hört und reagiert auf alle Unregelmäßigkeiten während der Inspektion gefunden, was zu einer verbesserten Qualitätskontrolle und schnelleren Durchsatz. Das Tool liefert schnelle, hochauflösende Messungen und Inspektionen mit branchenführender Präzision und ermöglicht schnellere Markteinführungs- und Kosteneinsparungen. Mit überlegener Instrumentierung ist TENCOR TeraScan 586 eine genaue und zuverlässige Inspektionsanlage, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Defekten zu erkennen, die sowohl für Masken als auch für Wafer geeignet sind.