Gebraucht KLA / TENCOR Terascan SL516-T5 #9276280 zu verkaufen

KLA/TENCOR Terascan SL516-T5 ist ein Masken- und Wafer-Inspektionsgerät der nächsten Generation, das hochgenaue und zuverlässige Inspektionsergebnisse liefert. Es kann verwendet werden, um die Integrität von Wafer- und Maskenlithographie-Prozessen zu bewerten. Das System ist mit Objektiven ausgestattet, die für eine schnelle und präzise Ausrichtung entwickelt wurden und eine Auflösung von 0,17 Mikrometern und einen niedrigen Wert für die numerische Apertur (NA) von 0,80 bieten. Ein automatisierter Ausrichtmechanismus sorgt dafür, dass Objektiv und Bühne perfekt ausgerichtet sind und bietet einen äußerst genauen Überblick über den Wafer oder die Maske. Für Anwender, die eine erhöhte Genauigkeit benötigen, steht optional eine höhere NA von bis zu 1,2 zur Verfügung. KLA Terascan integriert SL516-T5 modernste Messtechnik, um schnelle Inspektionsgeschwindigkeiten zu ermöglichen. Scangeschwindigkeiten sind bis zu 60X schneller als Vorgängersysteme, was zu einem deutlich schnelleren Gesamtdurchsatz führt. Das Gerät verfügt über eine Auswahl an manuellen, halbautomatischen oder vollautomatischen Inspektionsmöglichkeiten. Automatisierte Techniken ermöglichen eine einfache Kalibrierung und Einrichtung, um ein automatisiertes Scannen von bis zu zwei Wafern gleichzeitig zu ermöglichen. Die manuelle Inspektion ermöglicht es dem Anwender, detaillierte und hochspezifische Inspektionen durchzuführen, die besonders nützlich sind, um seltene Fehler zu finden. Insgesamt bietet TENCOR Terascan SL516-T5 eine umfassende und kostengünstige Wafer- und Maskenprüfmaschine, die für eine Vielzahl von Lithographieverfahren geeignet ist. Der schnelle und präzise Ausrichtmechanismus und die automatisierten Funktionen ermöglichen eine schnelle und genaue Inspektion und sind somit eine gute Wahl für Benutzer aller Ebenen, die ein schnelles und zuverlässiges Inspektionswerkzeug suchen.