Gebraucht KLA / TENCOR Terascan SLF576 #9276278 zu verkaufen

KLA/TENCOR Terascan SLF576 ist eine umfassende Masken- und Waferinspektionsanlage für Halbleiterherstellungsanwendungen. Das System umfasst eine integrierte Scan-Overlay- und Bild-Splicing-Technologie, die eine hochauflösende 3D-Inspektion für komplexe Strukturierungsmerkmale und Skalierung des Produktionsprozesses bietet. Mit KLA Terascan SLF576 können Benutzer Vollfeldbilder aus mehreren Perspektiven aufnehmen, um mögliche Fehler an der Maske zu lokalisieren. Die Scan- und Bildspleißtechnik des Geräts sorgt dafür, dass der gleiche Bereich der Maske aus mehreren Winkeln inspiziert werden kann, ohne dass die relativen Positionen der beobachteten Merkmale verschoben werden. Darüber hinaus bietet die Maschine umfassende Automatisierungsfunktionen, so dass Anwender die Inspektion der Maskenoberflächen bei relativ geringem Bedienkompromiss einfach und schnell abschließen können. TENCOR Terascan SLF576 ist mit branchenüblichen Kamera-Navigationswerkzeugen für die manuelle und automatisierte Bearbeitung der Bildinformationen ausgestattet, so dass Benutzer jeden Fehler schnell lokalisieren können. In Bezug auf die Hardware wird Terascan SLF576 um ein linsenloses Beleuchtungswerkzeug gebaut, das Bilder von beispielloser Klarheit und Detailtreue liefert. Das Asset verfügt zudem über eine Hochgeschwindigkeits-CCD-Kamera mit einer Auflösung von bis zu 1,3 µm. Um den Inspektionsprozess zu unterstützen, umfasst das Modell eine leistungsstarke Ausrichtungsausrüstung für Wafer, die eine Vielzahl von Vision-Algorithmen verwendet, um die genaue Platzierung und Positionierung von Lappen zu erleichtern. Das Ergebnis ist, dass Muster auf der Maske genau zwischen verschiedenen Sichtfeldern oder zwischen verschiedenen Wafer-Sites abgestimmt werden. In Bezug auf Software verfügt KLA/TENCOR Terascan SLF576 über eine Vielzahl von Fehlererkennungs- und Bildanalysetools, die zur weiteren Unterstützung des Inspektionsprozesses enthalten sind. Diese eingebetteten Tools ermöglichen es Benutzern, verschiedene Aspekte eines Bildes wie Kantenintensität, Geräuschpegel und Linienbreite auszuwerten, um mögliche Fehler schnell zu erkennen und zu isolieren. Um eine außergewöhnliche Systemleistung zu gewährleisten, ist KLA Terascan SLF576 mit Hot-Swap-fähigen, feldwechselbaren Komponenten ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, bei Bedarf schnell und einfach defekte Teile auszutauschen. Darüber hinaus bietet das Gerät erweiterte Echtzeit-Wärmebilder, um Hotspots zu identifizieren und Stromverbrauchsvariablen zu messen. Insgesamt ist TENCOR Terascan SLF576 eine hervorragende Lösung für Masken- und Waferinspektionsbedürfnisse in der Halbleiterherstellung. Mit seinen erweiterten Scan- und Bildspleißfunktionen kann die Maschine hochauflösende 3D-Bilder aufnehmen und analysieren, um mögliche Fehler schnell und genau zu identifizieren. Darüber hinaus verfügt Terascan SLF576 über umfassende Hardware- und Embedded-Software-Tools zur Unterstützung und Automatisierung des Inspektionsprozesses.