Gebraucht KLA / TENCOR UVision 5 #293586464 zu verkaufen

ID: 293586464
Brightfield inspection system.
KLA/TENCOR UVision 5 ist eine fortschrittliche automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um Anomalien in Halbleitermaterialien vor der Herstellung zu erkennen. Mit hochauflösender Optik und patentierten Inspektionsalgorithmen kann es sehr feine Details einer Maske oder Waferoberfläche auf Defekte, wie Kratzer und Verschmutzungen, untersuchen. Mit verbesserter Messempfindlichkeit und Genauigkeit ist KLA UVision 5 in der Lage, selbst feinste Masken- und Waferdefekte zu erkennen. TENCOR UVision 5 verwendet mehrere hochauflösende Umgebungsdetektoren, um Wafer und Masken zu untersuchen, ohne dass aufwendige Systemkalibrierungen oder zusätzliche Komponenten erforderlich sind. UVision 5 bietet mit Hilfe einer speziellen mehrachsigen Bewegungssteuerung und Bildgebungseinheit präzise Messungen und Analysen von Oberflächen im Makro- und Mikromaßstab. Darüber hinaus nutzt KLA/TENCOR UVision 5 Deep Learning und Techniken der künstlichen Intelligenz, um Defekte und Verunreinigungen zu erkennen und zu differenzieren. Die automatisierten Abbildungs- und Messsysteme von KLA UVision 5 können verunreinigte Partikel, einschließlich Schmutz, Staub und andere Verunreinigungen, erkennen, was die Leistung von Halbleiterbauelementen beeinträchtigen kann. Mit der Maschine können Wafer aus einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Glas und Olymeren ausgewertet werden. Das Tool bietet einen detaillierten Überblick über jeden Teil der Maske oder des Wafers, indem es seine hochauflösende Bildtechnologie und Bildfusionsfunktionen verwendet. Zum Asset gehört auch eine benutzerfreundliche Oberfläche, die es den Betreibern ermöglicht, schnell auf die Daten zuzugreifen und ihre Maske oder Wafer-Inspektion anzupassen. Es bietet auch eine Margin-Analyse, bei der die Betreiber die Ergebnisse der Vor- und Nachprüfung vergleichen können, um die Qualitätskonsistenz zu gewährleisten. Das Modell kann entweder in einem vollen manuellen oder halbautomatischen Modus betrieben werden und ist entworfen, um jede Probe im Zusammenhang mit Qualität oder Fertigungsvariation für weitere Studie zu erfassen. Die automatisierte Inspektionsausrüstung von TENCOR UVision 5 unterstützt auch die Rückverfolgbarkeit und Einhaltung von Regulierungsstandards. Es kommt mit integrierter Compliance und Data-Tracking-Software, die sicherstellt, dass alle vom System gesammelten Daten sicher in einer zentralen Servereinheit gespeichert werden. UVision 5 ermöglicht auch eine erweiterte Analyse von Inspektionsergebnissen, einschließlich Mustererkennung und statistischer Prozesskontrolle. Die fortschrittlichen Funktionen der Maschine bieten die Sichtbarkeit, Datenzuverlässigkeit und Informationsgenauigkeit, die erforderlich sind, um die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen.
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