Gebraucht KLEO LDI CM 20 #9246262 zu verkaufen

KLEO LDI CM 20 ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung zur Identifizierung von nicht übereinstimmenden Marken auf in der Lithographie verwendeten Mustern, die zu Ertragsverlusten führen können. Das System besteht aus einem digitalen Abbildungs-Subsystem, einem Licht-Beugungs-Subsystem und einem Daten-Management-Subsystem. Das Teilsystem Digitale Bildgebung verwendet ein ladungsgekoppeltes Gerät (CCD), um Probenoberflächen mit hoher Empfindlichkeit und Dynamikbereich zu scannen. Das Bild wird dann mit ausgeklügelter Software erfasst und analysiert. Die Software kann Fehler, Scheiben und Körner erkennen, identifizieren und messen. Außerdem verfügt das Gerät über eine helle Lichtquelle mit stabiler Leistung, um den Kontrast zwischen dunklen und hellen Bereichen auf der abgetasteten Oberfläche zu optimieren. Das Teilsystem der Lichtbeugung bietet mehrere Beugungslichtabtastwinkel zur Beurteilung der Oberflächeneigenschaften. Die Lichtquelle ist beweglich, um verschiedene Oberflächenkonfigurationen und Einfallswinkel zu messen. Die aus diesem Teilsystem gewonnenen Daten werden analysiert, um eine Reihe von nicht übereinstimmenden Elementen zu identifizieren, die zu Ertragsverlusten führen können. Das Datenmanagement-Subsystem ermöglicht es Benutzern, auf die Scanergebnisse aus den Teilsystemen Digitale Bildgebung und Lichtbeugung zuzugreifen. Funktionen wie Echtzeitüberwachung und Anpassung der Scan-Parameter ermöglichen es Anwendern, die Qualität mit jeder Probe sicherzustellen. Alle gesammelten Daten werden in einer Datenbank für einen effizienten Rückruf und eine Analyse gespeichert und organisiert. Insgesamt ist die Masken- und Waferinspektionsmaschine LDI CM 20 in der Lage, eine schnelle, genaue und zuverlässige Bewertung von Lithographiemustern zu ermöglichen. Das hochautomatisierte Tool ermöglicht es Anwendern, Ertragsverlustelemente schnell und kostengünstig zu finden und zu reduzieren, wodurch Compliance und Gesamtqualität gewährleistet sind.