Gebraucht KOBELCO / LEO EPM #293642530 zu verkaufen

KOBELCO / LEO EPM
ID: 293642530
Edge defect inspection / bonding evaluation system.
KOBELCO/LEO EPM ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die in Halbleiterherstellungsanlagen eingesetzt wird. Dieses System bietet eine End-to-End-Inspektionslösung, die die Integrität von Maske und Wafer in jeder Phase der Produktion überprüft und dabei hilft, Ertragsverluste aufgrund von Defekten zu reduzieren. Das Gerät verwendet hochauflösende Bildgebung, Photomasken-Auswertung und automatisierte Inspektion, um schnelle und genaue Messungen von Geometrie und Defekten zu erreichen. Dies ermöglicht eine schnelle Identifizierung von Geräte- zu Wafer-Variationen, die eine schnelle Anpassung des Produktionsprozesses und eine verbesserte Produktqualität ermöglicht. Die Maschine kann auch Fehler während der Belichtung der Photomaske und während des Waferätzens erkennen. Das Tool beinhaltet eine Vielzahl innovativer Technologien wie einen fortschrittlichen Laser- und geladenen Partikel-Bildgebungssatz. Dieses Modell erhöht die Genauigkeit und Auflösung von Photomasken- und Waferinspektionen im Vergleich zur herkömmlichen optischen Mikroskopie um das 100-fache. Das Gerät zur Abbildung von geladenen Partikeln bietet darüber hinaus eine überlegene Genauigkeit bei der Identifizierung und Lokalisierung von Defekten und ermöglicht eine frühere und kostengünstigere Erkennung. LEO EPM verfügt auch über ein automatisiertes Bildgebungssystem zur Erzeugung hochauflösender Bilder von Photomasken und Wafern. Diese Einheit führt die Bildverarbeitung durch, um die Bilder mit gespeicherten Daten zu vergleichen und liefert schnelle und zuverlässige Ergebnisse. Es kann auch verschiedene Arten von grafischen Daten und schriftlichen Berichten ausgeben. Insgesamt wurde die Maschine so konzipiert, dass sie einen umfassenden und effektiven Ansatz für die Inspektion von Masken und Wafern bietet, um Ertragsverluste durch defekte Produkte zu reduzieren. Die hochauflösenden bildgebenden und automatisierten Prozesse des Tools sorgen zudem für eine schnellere und genauere Inspektion, sodass die Hersteller ihre Produktionsprozesse rechtzeitig anpassen können. Mit KOBELCO EPM können Hersteller die Risiken im Zusammenhang mit ihrer Halbleiterherstellung reduzieren und ihren Kunden qualitativ hochwertigere Produkte anbieten.
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