Gebraucht KOKUSAI VR-120A #9148334 zu verkaufen

KOKUSAI VR-120A
ID: 9148334
Measurement system.
KOKUSAI VR-120A ist eine umfassende Multi-Sensor-Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung zur Herstellung von fortschrittlichen ein- oder mehrlagigen Masken und Wafer-gemusterten Strukturen. Seine fortschrittliche Visionstechnologie und fortschrittliche Beleuchtungssysteme bieten eine unübertroffene Auflösung und Inspektionsabdeckung. Das System schließt GEFÜHRTE Digitalkameraeinheit einer hohen Auflösung, eine hohe Geschwindigkeit ein, schmalen Infrarotbalkensensor und eine völlig automatisierte Defektschaumaschine scannend. Das Kamera-Tool verwendet einen CCD (charge-coupled device) Bildsensor und bietet eine Auflösung von bis zu 8,5 μ m-Pixel. Es bietet Bildaufnahme mit bis zu 200 Feldern pro Sekunde. Der schmale Infrarotstrahlsensor bietet eine Submikron-Auflösung und kann bis zu 5 Millionen Muster pro Sekunde inspizieren. Es beinhaltet eine In-situ-Fokus-Steuerung für eine zuverlässige Fehlerinspektion. Das Modell bietet eine umfassende Mustererkennung und Fehlererkennung. Mustererkennungsfunktionen umfassen die Messung von Mustern, Linienbreiten, Schichtdicken, Oberflächen, Schritthöhen und Winkeln sowie CD (kritische Dimensionen) und Lumineszenzprüfungen. Defektdetektionsfunktionen umfassen Porenbereich, Resistreste, Brückenproben, Kratzer, Verunreinigungen, Kristalldefekt, Chipätzen und Photoresistentwicklung. Das Gerät ist in der Lage, die gesamte Maske oder den Wafer mit einem optischen Gesichtsfeld von 10 cm x 10 cm zu inspizieren. Es verfügt über ein integriertes Stage Gantry System und eine automatisierte Stufenschalteinheit, die eine schnelle und präzise Inspektion großer Masken- und Waferbereiche ermöglicht. Die Maschine unterstützt den manuellen, halbautomatischen und vollautomatischen Betrieb und liefert nahezu Echtzeitergebnisse. Das Werkzeug ist für einen zuverlässigen Betrieb in rauen Produktionsumgebungen ausgelegt. Es ist mit einem leistungsstarken CPU-Modul, einer einfach zu bedienenden grafischen Benutzeroberfläche, einem Netzwerkport und einer optionalen Speichererweiterung sowie einer Mehrfachbenutzerauthentifizierung ausgestattet, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht eine optionale Nahtprüfungstechnik und eine Maskenbildbibliothek eine präzise Fehlerüberprüfung. VR-120A Masken- und Wafer-Inspektionsmodell liefert zuverlässige und genaue Inspektionsergebnisse in Produktionsumgebungen. Seine umfassenden Fehlererkennungs- und Mustererkennungsfunktionen machen es ideal für fortgeschrittene Masken- und Wafer-Produktionsprozesse.
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