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LEITZ Ergolux
ID: 104835
Inspection microscope 6x6" Travel Motorized nose piece.
LEITZ Ergolux ist ein einzigartiges, vollautomatisches System zur Automatisierung der Inspektion von Photomasken und Wafern. Die Einheit unterstützt eine breite Palette von Halbleiterherstellungsprozessen und kann zur Inspektion von mehrschichtigen und mehrstufigen Bauelementen verwendet werden. Die Maschine umfasst eine hochpräzise dreidimensionale Profilmessstufe zur Messung der Mikrometergenauigkeit und ein hochauflösendes Mikroskop zur Prismenausrichtung. Ergolux Werkzeug unterstützt zwei verschiedene Maske & Wafer Inspektionsmodi. Der erste Modus - die automatisierte Maskeninspektion - besteht darin, eine Reihe von Bildverarbeitungs- und Mustererkennungstechniken zu verwenden, um eine Reihe von Inspektionen von Photomasken durchzuführen. Dazu gehört die Überprüfung der Genauigkeit der Ausrichtung zwischen Schichten, die Bewertung der Gleichmäßigkeit des Musters und die Überprüfung der Form und Größe der Maskenmuster. Der zweite Modus - die automatisierte Wafer-Inspektion - verwendet den gleichen Satz von Bildverarbeitungs- und Mustererkennungstechniken wie der Maskeninspektionsmodus, umfasst aber auch erweiterte Tiefenmessungen der Schichten auf einem Wafer. Die hochpräzise, dreidimensionale Profil-Messstufe ist in der Lage, Mikrometer-Genauigkeitsmessungen zu nehmen und schnell hochauflösende Bilder und genaue 3D-Profile zu erfassen. Darüber hinaus verfügt LEITZ Ergolux asset über leistungsstarke Bildverarbeitungsalgorithmen, die eine schnelle und zuverlässige Inspektion hoher Komplexitätsmuster in praktisch jeder Form und Größe ermöglichen. Das Modell umfasst drei Hauptkomponenten: eine intuitive und einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI), eine leistungsstarke Inspektionsmaschine und ein hochauflösendes Mikroskop für manuellen Eingriff bei Bedarf. Die Inspektionsmaschine verwendet prädiktive Algorithmen und künstliche Intelligenz (KI), um die vom Scanner erfassten Bilder auf Fehler, Defekte oder andere problematische Muster zu analysieren. Mit Hilfe des Mikroskops können auch manuelle Inspektionen und Anpassungen schnell und einfach durchgeführt werden. Ergolux-Geräte sind eine ideale Lösung für Halbleiterhersteller, die ein automatisiertes, hochpräzises Masken- und Wafer-Inspektionssystem suchen. Das Gerät kann verwendet werden, um die Produktionszeit zu beschleunigen, die Zykluszeit zu reduzieren und zuverlässige und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Maschine hochgradig konfigurierbar und kann auf die spezifischen Prozesse und Anforderungen jedes Herstellers zugeschnitten werden.
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