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LEITZ Ergolux Mask and Wafer Inspection Equipment ist eine hochmoderne automatisierte Mikroinspektionsanlage zur Qualitätssicherung und Halbleiterproduktion. Es wurde speziell entwickelt, um subtile Defekte und Unregelmäßigkeiten in einer Vielzahl von Wafern zu erkennen, von Nanoskala-Wafern bis hin zu Makro-Wafern. Ergolux ist ein fortschrittliches System, das LED-Beleuchtung mit hochauflösender optischer Zoomvergrößerung kombiniert, um eine vollständige Palette von Makro- und Mikroinspektionsfunktionen zu bieten. LEITZ Ergolux verfügt über ein breites Spektrum fortschrittlicher Bildgebungstechniken, mit denen Anwender selbst die schwierigsten Fehler in einer Vielzahl von Materialien erkennen können. Es verwendet Hochleistungssensoren, die Bilder mit einer Auflösung von bis zu 250 nm aufnehmen können, so dass Benutzer subtile Fehler identifizieren können, die sonst verpasst werden könnten. Bei der Integration in die LEITZ-spezialisierte Bildverarbeitungssoftware haben Anwender die Möglichkeit, Bilder in Echtzeit zu verarbeiten und selbst geringste Unregelmäßigkeiten bei der Waferinspektion zu erkennen. Die fortschrittliche optische Mikroskopie von Ergolux bietet ein beispielloses Maß an Detailtreue und Klarheit, sodass Benutzer detaillierte Funktionsgrößen, Defekte und sogar strukturelle Variationen in einer Reihe von Materialien abbilden und messen können. Die Maschine ist in der Lage, Bilder in einem Vergrößerungsbereich von bis zu 2000x zu erfassen und ist mit einer integrierten Luftlagerplattform ausgestattet, die die Navigation dieser höheren Vergrößerung präzise und genau steuern kann. Neben den verbesserten Bildgebungsfunktionen verfügt LEITZ Ergolux auch über eine fortschrittliche automatisierte Probenhandhabung und eine gut gestaltete Touchscreen-Benutzeroberfläche. Ergolux-Werkzeug ist gut geeignet für eine Vielzahl von Wafer-Inspektionsanwendungen, von der einfachen Qualitätskontrolle bis zur fortschrittlichen Wafer-Fehleranalyse. Es verfügt über eine breite Sichtfeld-Masken-Inspektionsfähigkeit, so dass Benutzer schnell fehlende Spuren, fehlerhafte Kontakte und falsche Musterpositionen erkennen können. Diese Funktion ermöglicht auch die gleichzeitige Auswertung mehrerer Masken. Schließlich ist LEITZ Ergolux Mask and Wafer Inspection Asset mit einer Vielzahl von benutzerdefinierten Standards kompatibel und bietet ein effizientes, zuverlässiges und kostengünstiges Mittel, um die höchste Qualität der Waferproduktion zu gewährleisten.
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