Gebraucht LEITZ Ergolux #118783 zu verkaufen
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ID: 118783
Microscope
NPL Objectives: 10x, 20x, & 50x brightfield-darkfield
Brightfield & darkfield
Stand
Brightfield-darkfield vertical illuminator
Ergonomic tilting binocular eyepiece tube with periplan 10x widefield high-eyepoint Adjustable eyepiece pair
Motorized nosepiece with rocker-switch control
12 Volt / 100 Watt Model halogen illuminator.
LEITZ Ergolux ist eine hochmoderne, präzise Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die qualitätsbezogene Probleme im Halbleiterherstellungsprozess identifiziert und adressiert, bevor sie zu kostspieligen Nacharbeiten und Zeitverlusten führen. Die anspruchsvollen Visions- und Automatisierungslösungen des Systems sind darauf ausgelegt, die Effektivität des gesamten Qualitätssicherungsprozesses zu maximieren, was zu niedrigeren Gesamtkosten pro geprüftem Wafer führt. Ergolux bietet Anwendern eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, von der automatisierten 3D-Inspektion grober Merkmale bis zur umfassenden 2D-Inspektion sowohl feiner als auch komplexer Merkmale. In der Lage, zweidimensionale Topologien von Masken und Wafern zu erfassen, kann die Einheit Fehler im Muster oder in der Struktur früherer Lithographie-Belichtungsschichten genau erkennen. Es kann auch verwendet werden, um das Vorhandensein von ungemusterten Merkmalen wie T-Top-Strukturen, Massendefekte, Ätzdefekte und andere Anomalien zu erkennen. Die Maschine verwendet ein 6-Achsen-Mehrsensorteilanordnungswerkzeug, das eine Kombination der Vision und gezwungenen Versetzungstechniken verwendet, um genaue Teilanordnung während des Prozesses zu sichern. Dieses Asset ermöglicht es Einzelpersonen, den Wafer oder die Maske im Sichtfeld des Modells schnell und genau auszurichten, wodurch potenzielle Fehler bei der manuellen Ausrichtung beseitigt werden. LEITZ Ergolux verfügt zudem über robuste Beleuchtungs- und Bildgebungsfunktionen. Das Gerät bietet eine Vielzahl verschiedener Lichtquellen, um eine präzise n-dimensionale Bildgebung zu gewährleisten und genaue Messungen und Auswertungen zu ermöglichen. Darüber hinaus bietet Ergolux Anwendern eine Vielzahl von Objektivoptionen, mit denen sie je nach ihren spezifischen Anforderungen an die Bildgebung und Analyse die beste Option auswählen können. Darüber hinaus bietet das System eine Vielzahl von optionalen elektronikbasierten Modulen und Upgrade-Paketen, um die Fähigkeiten des Geräts zu erweitern, wie einen erweiterten Inspektionsalgorithmus für größere Maskenchips und eine erweiterte Fehlerüberprüfungs- und Meldemaschine. Dies bietet Anwendern die Flexibilität, das Werkzeug an die genauen Anforderungen ihres Fertigungs- und Inspektionsprozesses anzupassen. Schließlich bietet LEITZ Ergolux Anwendern eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, um die komplexen und aufwendigen Aufgaben der Masken- und Waferinspektion zu bewältigen. Dies erleichtert Benutzern die Konfiguration der Asset-Einstellungen, das Anzeigen von Inspektionsergebnissen und das Überprüfen, Analysieren und Interpretieren von Daten, die sich aus ihren Inspektionen ergeben. Zusammenfassend ist Ergolux ein leistungsstarkes und vielseitiges Masken- und Wafer-Inspektionsmodell, das Anwendern eine breite Palette von Werkzeugen und Funktionen zur schnellen und genauen Identifizierung und Bewältigung qualitätsbezogener Probleme im Halbleiterherstellungsprozess bietet.
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