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LEITZ Ergolux ist eine hochmoderne Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die Halbleiterherstellern helfen soll, die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen zu erfüllen. Mit einem patentierten Multispektralabbildungssystem ist Ergolux in der Lage, während des Produktionsprozesses Defekte an Masken und Wafern zu erkennen und zu diagnostizieren. LEITZ Ergolux integriert eine Reihe fortschrittlicher bildgebender Technologien und Algorithmen zur zuverlässigen Erkennung von Oberflächen- und Untergrunddefekten bis zu 3 µm bei hoher Genauigkeit. Durch die Kombination von hochauflösender RGB-Optik und fortschrittlicher Halbleiterausleuchtung kann Ergolux Fehler sowohl bei durchgelassenen als auch bei reflektierten Lichtverhältnissen analysieren. Darüber hinaus können der Prozess der Bildgebung und die Analyse von Fehlermerkmalen aus der Ferne überwacht und gesteuert werden, so dass Benutzer die Kosten für den Betrieb und die Wartung des Geräts reduzieren können. Der Fokus von LEITZ Ergolux auf Bildverarbeitung und Algorithmusentwicklung ermöglicht es auch Halbleiterherstellern, Fehler schnell und genau zu identifizieren, zu quantifizieren und zu klassifizieren. Dank einer Reihe fortschrittlicher Bildverarbeitungstechniken und Algorithmen kann Ergolux eine Reihe von Fehlern erkennen, von grundlegenden Mustervariationen wie Bridge und Open Shorts bis hin zu Wiederholbarkeitsfehlern, doppelten Musterproblemen und mehr. LEITZ Ergolux ermöglicht darüber hinaus eine flexible Fehlerdatenverwaltung und bietet eine intuitive Bedienoberfläche zur Vereinfachung der Konfiguration und Einstellung der Maschineneinstellungen. Diese Schnittstelle wird verwendet, um Inspektionsprogramme zu erstellen und anzupassen, die Bilder auf verschiedene Fehler mit unterschiedlichen Toleranzstufen scannen können. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Bediener auch, Bildanalyseergebnisse einfach mit den Spezifikationen zu vergleichen und erforderliche Anpassungen der Werkzeugeinstellungen für zukünftige Inspektionen vorzunehmen. Ergolux ist ein äußerst zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug zur Untersuchung und Diagnose von Defekten an Masken und Wafern. Es bietet detaillierte Echtzeit-Einblicke in Mängel und unterstützt bedarfsorientierte Abläufe mit einem flexiblen Design, das eine schnelle und genaue Fehleranalyse und Zertifizierung der Gerätequalität ermöglicht. Mit diesen Features zeichnet sich LEITZ Ergolux als eines der führenden heute erhältlichen Masken- und Wafer-Inspektionssysteme aus.
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